可以的。廣東某品牌鍍膜實例:
1、低溫鍍膜裝置
低溫CVD真空鍍膜設備在500°C以下制作絕緣薄膜就屬于低溫鍍膜了,廣泛應用在集成電路中鋁布線表面防護膜、線間絕緣膜等膜層制作。
2、中等溫度鍍膜裝置
裝置成膜溫度在600°C-800°C之間屬于中等溫度鍍膜,多用于制作各種絕緣膜、多晶硅膜、集成電路中的金屬膜等膜層。
3、CVD真空鍍膜設備制作金屬薄膜
該設備幾乎適用所有的金屬鍍膜,但通常一些低熔點的金屬鍍膜不必用CVD鍍膜設備,更多是采用蒸鍍設備或是離子鍍設備。所以CVD鍍金屬膜的話,一般只在制作熔點較高、硬度較大的膜層制備上(如Mo、W、Re、Ta等)。