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超納米金剛石具有優異的物理和化學性質，化學氣相沉積法制備超納米金剛石膜近年來引起了該領域相關研究人員的極大關注。文章對超納米金剛石與其他CVD 金剛石的性質進行了對比，對超納米金剛石的生長機理進行了簡要概述，著重分析了各種化學氣相沉積技術制備超納米金剛石的基本原理、特點及取得的研究成果，z*后詳細討論了超納米金剛石的應用和今后研究方向。 引言 CVD...
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