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直流磁控濺射中矩形平面靶刻蝕形貌的數值計算及優化
2014-12-09  閱讀

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  【康沃真空網】對普通矩形平面靶的磁場分布、電子運動軌跡和電子分布進行了理論計算。通過磁場的解析表達式,解出電子在磁場中的運動方程,求得并從理論上解釋了電子的運動軌跡。由電子的運動軌跡,并運用Monte Carlo 方法,求得電子在磁場中的分布,得到電子分布的均值和標準差。本文通過在基片和