射頻磁控濺射法沉積SiC-Al薄膜的摩擦特性
【康沃真空網(wǎng)】利用射頻法非平衡磁控濺射設(shè)備在鈦合金板上沉積了非晶態(tài)SiC-Al薄膜。為了降低薄膜的摩擦系數(shù)，在薄膜中添加Al原子，同時Al也被選擇為中間過渡材料來提高界面結(jié)合強度和防止界面氧化。研究結(jié)果表明:薄膜摩擦系數(shù)隨著Al原子含量的增加而先減后增，并在Al含量為0.97%時達到z*小值。SiC-Al薄膜對SiC和Al2O3陶瓷材料的摩擦系數(shù)比對不銹鋼材料的摩擦系數(shù)低，但它與SUJ2軸承鋼之間的摩擦系數(shù)...
