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銀基透明導電薄膜制備及其性能研究
2014-12-15  閱讀

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  【康沃真空網】采用磁控濺射方法制備了ZnO/Ag/ZnO、AZO/Ag/AZO 三層和AZO/LiF/Ag/LiF/AZO、AZO/Al/Ag/Al/AZO 五層透明導電薄膜,該體系薄膜450~700 nm 的平均透過率在80%以上,方塊電阻約5 Ω/sq。插入LiF 和Al 的AZO/LiF/Ag/LiF/AZO 和AZO/Al/Ag/Al/AZO 導電薄膜在723 K 退火后方塊電阻分別為5...