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　　【康沃真空網】利用電弧離子鍍方法制備了TiN 薄膜，研究了脈沖偏壓幅值和試樣放置狀態對Ti 大顆粒形貌和分布規律的影響。采用掃描電子顯微鏡觀察了薄膜的表面形貌，利用ImageJ 科學圖像軟件對Ti 大顆粒的數目和尺寸進行了分析。結果表明： 在不施加脈沖偏壓時，隨著試樣表面與靶表面放置方向從平行到垂直，大顆粒數目迅速由4964 降低到3032，所占薄膜的面積比從12.1%減少到4.7%； 而在相同的放置方向下...