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【康沃真空網】采用復合高功率脈沖磁控濺射技術在單晶Si 片、高速鋼和玻璃上制備CrN 薄膜。分別研究了脈沖電壓在500，600， 700， 750 V 時對薄膜的組織結構和力學性能的影響。結果表明，隨著脈沖電壓的增加，靶材離化率增加，靶電流以及濺射原子離子數量級能量均...
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