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脈沖偏壓對離子束輔助電弧離子鍍TiN/Cu納米復合膜結構及硬度的影響
2014-12-25  閱讀

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  【康沃真空網】采用離子束輔助電弧離子鍍技術在高速鋼基體上制備TiN/Cu 納米復合薄膜,考察了基體脈沖負偏壓對薄膜成分、結構及硬度的影響。用X 射線光電子譜、X 射線衍射、掃描電鏡、透射電鏡和納米壓痕等方法分別測試了薄膜的化學成分、結構、表面形貌、硬度以及彈性模量。結果表明,在氮離子束的轟擊作用下,隨著脈沖偏壓幅值從-100 V 增加到-900 V 時,薄膜中Cu 含量先增加而后略有降低,在1.05% ~ ...