來源:真空技術網
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超納米晶金剛石(UNCD)在短毫米波特別是太赫茲真空器件輸能窗中具有潛在的應用價值。本文介紹了UNCD膜的制備工藝和性能表征。利用微波等離子體化學氣相沉積法在一種貧氫、富氬的反應氣體中合成UNCD膜。掃描電子顯微鏡分析表明，合成的UNCD膜表面光滑平整，晶粒為納米尺度，斷面結構致...
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