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真空鍍膜之蒸發鍍膜機的原理及性能
標簽: 真空鍍膜
2015-03-27  閱讀

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在真空中制備膜層,包括鍍制晶態的金屬、半導體、絕緣體等單質或化合物膜。雖然化學汽相沉積也采用減壓、低壓或等離子體等真空手段,但一般