用熱絲化學(xué)氣相沉積法制備金剛石涂層微細(xì)刀具的過程中，刀具表面溫度場(chǎng)分布的均勻性與穩(wěn)定性對(duì)金剛石涂層的質(zhì)量具有決定性的作用。本文采用有限容積法，對(duì)微細(xì)刀具表面沉積金剛石涂層過程中的溫度場(chǎng)分布進(jìn)行了仿真研究，采用Taguchi正交試驗(yàn)法考察了熱絲直徑d、熱絲高度H、熱絲間距D 以及熱絲長(zhǎng)度L 對(duì)溫度場(chǎng)均勻性的影響，并獲得了z*優(yōu)參數(shù)組合，即d=0.65m...
