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調制周期對Ti-TiN-Zr-ZrN多層膜性能的影響
標簽: Ti-TiN-Zr-ZrN
2015-04-01  閱讀

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采用真空陰極電弧沉積技術,在TC11 鈦合金表面沉積同等厚度的三種不同調制周期Ti-TiN-Zr-ZrN 軟硬交替多層膜。用掃描電鏡、顯微硬度計、結合力劃痕儀和砂粒沖刷試驗儀分析測試了多層膜的厚度、表面及截面形貌、硬度、膜/基結合力...