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不同相結構Ti33Al67靶材磁控濺射薄膜對比研究
標簽: 磁控濺射
2015-04-02  閱讀

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采用磁控濺射的方法,選用化學成分相同而相結構完全不同的兩種靶材在硬質合金基體上沉積薄膜,使用X射線衍射、掃描電鏡、X射線能譜儀和壓痕法分別測量了薄膜的相結構、表面形貌、薄膜的化學成分和薄膜與基體的結合力,結果表...