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在氮氣和氬氣的混合氣氛下通過共濺射石墨靶和鈦靶在M2高速鋼基體上制備TiCN薄膜，利用掃描電子顯微鏡和X射線衍射儀分析TiCN薄膜的組織與結(jié)構(gòu)，采用納米壓痕儀檢測TiCN薄膜的硬度，同時采用壓痕法和劃痕法評價薄膜與基體的結(jié)合狀況，并對TiCN薄膜絲錐進行切削試驗，考察TiCN薄膜的耐用性。結(jié)果表明：TiCN薄膜中的C原子以固溶于TiN晶格形式存在，T...