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ITO薄膜在濺鍍過程中會產生不同的特性，有時候表面光潔度比較低，出現麻點的現象，有時候會出現高蝕間隔帶。 在蝕刻時還會出現直線放射型缺劃或電阻偏高帶，有時候會出現微晶溝縫。 各種特性的產生一般取決于
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