【康沃真空網(wǎng)】真空鍍膜機的詳細結(jié)構(gòu)：
高真空鍍膜機，鍍膜機是目前制作真空條件應(yīng)用最為廣泛的設(shè)備。其相關(guān)組成及各部件:機械泵、增壓泵、油擴散泵、冷凝泵、真空測量系統(tǒng)。下面詳細介紹各部分的組成及工作原理。
一、真空主體——真空腔
根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異，真空腔的大小也不一樣,目前應(yīng)用最多的有直徑 1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實等，真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統(tǒng)
此排氣系統(tǒng)采用擴散泵+機械泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋ p olycold組成
排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于 2.0“10-2PA 左右的低真空狀態(tài)，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動作。
排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。
機械泵:也叫前級泵，機械泵是應(yīng)用最廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
機械泵有很多種，常用的有滑閥式(此主要應(yīng)用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此目前應(yīng)用最廣泛,本文主要介絡(luò))四種類型。
機械泵常常被用來抽除干燥的空氣，但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體,機械泵一般被用來抽除永久性的氣體，但是對水氣沒有好的效果,所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉(zhuǎn)子、彈片等，轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不同心軸,象兩個內(nèi)切圓，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片,兩彈片中間裝有彈筠,保證了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。
它的兩個彈片交替起著兩方面的作用,一方面從進氣口吸進氣體，另一方面壓縮已經(jīng)吸進的氣體,將氣體排出泵外。轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周，泵完成兩次吸氣和兩次排氣。當泵連續(xù)順時針轉(zhuǎn)動時，旋片泵不斷的通過進氣口吸入氣體，又從排氣口不斷的排出泵外，實現(xiàn)對容器抽氣的目的。為了提高泵的極限真空度，均將泵的定子浸在油里面這樣，在各處的間隙中及有害空間里面經(jīng)常保持足夠的油，把空隙填滿，所以油一方面起到了潤滑作用,另一方面又起了密封和堵塞縫隙及有害空間的作用，防止氣體分子通過各種渠道反流到壓強低的空間去。
機械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數(shù)有極限真空，抽氣速率，此為設(shè)計與選用機械泵的重要依據(jù)。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空，雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。
抽氣速率，是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數(shù)運轉(zhuǎn)時，單位時間內(nèi)所能排出氣體的體積，可以用下公式計算:
Sth=2nVs=2nfsL
fs表示吸氣結(jié)束時空腔截面積，L表示空腔長度，系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過程，Vs表示當轉(zhuǎn)子處于水平位置的時候,吸氣結(jié)束,此時空腔內(nèi)的體積最大，轉(zhuǎn)速為n。
機械泵排氣的效果還與電機的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有關(guān)系，當電機的皮帶比較松，電機轉(zhuǎn)速很慢的時候，機械泵的排氣放果也會變差，所以要經(jīng)常保養(yǎng),點檢,機械泵油的密封效果也需要常常點檢，油過少,達不到密封效果，泵內(nèi)會漏氣，油過多，把吸氣孔堵塞，無法吸氣和排氣，一般，在油位在線下 0.5厘米即可。
增壓泵又叫羅茨泵:它是具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形轉(zhuǎn)子的機械泵，由于它的工作原理與羅茨鼓風機相同，所以又可以叫羅茨真空泵，此泵在100-1帕壓強范圍內(nèi)有較大的抽氣速度，它彌補了機械泵在此范圍內(nèi)排氣能力不足的缺點，此泵不能從大氣開始工作,也不能直接排出大氣，它的作用僅僅是增加進氣口和排氣口之間的壓差，其余的則需要機械泵來完成，因此,它必須配以機械泵作為前級泵。
機械泵在使用過程中,必須注意以下問題:
1、機械泵要安裝在清潔干燥的地方。
2、泵本身要保持清潔干燥,泵內(nèi)的油具有密封和潤滑作用,因此要按照規(guī)定量添加。
3、要定期更換泵油，更換的時候要先排出以前的廢油，周期為至少三個月至半年更換一次。
4、要按照說明書接好電線。
5、機械泵停止工作前要先關(guān)閉進氣閥門,再停電并開放氣閥,將大氣通過進氣口放入泵中。
6、泵在工作期間，油溫不可以超過75攝氏度，否則會由于油的黏度過小而導(dǎo)致密封不嚴。
7、要不定期檢點機械泵的皮帶松緊度、電機的轉(zhuǎn)速，羅獲泵電機的轉(zhuǎn)速，和密封圈的密封效果。
油擴散泵:機械泵的極限真空只有10-2帕，當達到10-1帕的時候，實際抽速只有理論的 1/10，如果要獲得高真空的話,必須采用油擴散泵。
由于油擴散泵是最早用來獲得高真空的泵，其由于造價便宜,維護方便，使用廣泛，所以本文將重點討論。
油擴散泵的應(yīng)用壓強范圍是10-1帕-10-7帕，它是利用氣體的擴散現(xiàn)象來排氣的，它具有結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，抽速大(最高可以達到 10+5升/秒)等特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導(dǎo)流管和加熱器組成，里面主要添加擴散泵油（日本的型號是 D-704#），根據(jù)噴端的多少可以分為單級泵和多級泵。
擴散泵底部內(nèi)儲存有擴散泵油，上部為進氣口，右側(cè)旁下部為出氣口，在工作時出氣口由機械泵提供前置壓強,機械泵充當前置泵。
當擴散泵的油被電爐加熱時,產(chǎn)生的油蒸汽提供前置壓強,機械泵充當前置泵。當擴散泵油被電爐加熱時，產(chǎn)生的油蒸汽沿著導(dǎo)流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機械泵提供的 1-10-1帕的真空，故油蒸汽可噴出一段距離，構(gòu)成一個向出氣口方向運動的射流。射流最后碰上由冷卻水冷卻的泵壁,凝結(jié)為液體,流回蒸發(fā)器，即靠油的蒸發(fā)——噴射——凝結(jié)，重復(fù)循環(huán)來實現(xiàn)抽氣的。
由進氣口進入泵內(nèi)的氣體分子,一旦落入蒸汽流中，便獲得向下運動的動量，向下飛去，由于射流具有高的流速(約200米秒),高的蒸汽密度，且擴散泵油具有高的分子量(300-500）故能有效的帶走氣體分子，因此在射流的界面內(nèi)，氣體分子不可能長期滯留，且在射流界面的兩邊，被抽氣體有很大的濃度差，正是因為這個濃度差被抽氣體能不斷的越過界面，擴散進入射流中，被帶往出口處,在出口處再由機械泵抽走。
擴散泵的油蒸汽壓是決定泵的極限真空的重要因素，因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油，其化學(xué)特性要好。
擴散泵不能單獨用來抽氣，一般要求泵的最大出口壓強為40帕。擴散泵的抽速決定于第一級噴嘴與泵體進氣口口徑間環(huán)形面積的大小,抽速不是一恒定的值，而是隨著進氣口的壓強而變化的，當壓強在10-2~10-3帕的時候，擴散泵的抽氣速度是最快的，當壓強小于 5*10-4 帕之后，擴散泵的抽氣速度最小，幾乎沒有抽氣能力（此時，進氣口的壓強較高，由于空氣的密度較大，使燕汽流形成不了高速射流以阻擋空氣的反擴散,所以抽速下降)。
擴散泵在安裝前要清洗，之后才可以裝入擴散油，油在加熱前，必須要先對泵抽真空，停機前要先將擴散泵油冷卻到60~7O攝氏度，才可以關(guān)閉前級抽氣,最后關(guān)冷卻水。
由于油擴散泵是無法杜絕有返油的幾率，那么沒有辦法保證精密產(chǎn)品的 100%純凈，特別是半導(dǎo)體行業(yè)，所以就有高真空冷凝泵＋低真空機械泵“所組成的無油真空系統(tǒng)，冷凝泵組成的排氣系統(tǒng)不僅排氣效率極高，而且有效保證真空腔的清潔,保證產(chǎn)品的質(zhì)量(避免產(chǎn)品被污染、增強膜層與基板之間的附著力),但是其維護成本非常的高，造價昂貴,所以普及率沒有油擴散泵廣泛。
本人在工作過程中,有幸使用到采用冷凝泵組成的排氣系統(tǒng),故在此解釋。
低溫冷凝泵:它是利用低溫表面來凝聚氣體分子以實現(xiàn)抽氣的一種泵，是目前獲得極限真空最高,抽速最大的抽氣泵。
冷凝泵的工作原理:主要是低溫表面對氣體的冷凝作用、冷插作用及物理低溫吸附作用。
低溫冷凝:根據(jù)各種氣體的特性,采用液氦或者制冷循環(huán)氦氣來冷卻。
冷捕集:就是不可凝氣體被可凝氣體捕集的現(xiàn)象，通常二氧化碳、水蒸氣、氮氣、壓氣等氣體首先形成霜，于低溫表面形成吸附層，進而達到吸附其它氣體的目的，低溫泵抽除混合氣體的效果比抽除單一效果好就是這個原因。
低溫吸附:指低溫表面上的吸附劑吸附氣體的作用，由于吸附劑與氣體分子之間的相互作用很強,故可達到氣相壓強比冷凝表面溫度下它的飽和蒸汽壓還低的水平。吸附劑通常是活性炭。
冷凝泵的抽氣速率及影響冷凝泵的抽氣速率與冷凝表面的面積大小有關(guān)系，經(jīng)數(shù)據(jù)顯示，單位冷凝表面積下的抽氣速率為 11.6升/秒.平方厘米,冷凝泵可以抽到 10-8 帕;此外粘有活性炭的吸附表面的幾何形狀及位置、活性炭的顆粒結(jié)構(gòu)、粘結(jié)材料及粘接工藝,對抽速也有很大的影響。其次關(guān)鍵在于制冷機的制冷量要足夠大。
真空計:真空計是真空6膜機器上的重要組成部分，它是檢測鍍膜機真空度的重要手段。真空計根據(jù)其工作原理可以分為絕對真空計和相對真空計，絕對真空計可以直接測量壓強的高低，相對真空計只能間接測量真空度。
本論文重點介紹鍍膜機器上面常用到的以下幾個真空計:
電阻真空計(又叫皮喇尼真空計):
它主要由電熱絲、外殼和支架構(gòu)成，主要是根據(jù)在低壓下，氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強成正比的方式工作的。上面開口處與被測真空系統(tǒng)相連接，熱絲采用電阻溫度系數(shù)大的金屬絲做成，兩支支架引線與測量線路連接。當壓強降低的時候，由于氣體熱傳導(dǎo)散失的熱量減小，因此當熱絲加熱電流穩(wěn)定時候,則熱絲溫度就上升,熱絲的電阻就增大，用測量熱絲電阻值的大小來間接測量壓強,有以下關(guān)系:
略這就是電阻真空計的工作原理，此真空計的測量范圍是:100-10-1帕之間，目前采用的型號是WP-02
磁控放電真空計:
工作原理:在放電開始時，由于空間游離電子向陽極運動時,在正交電磁場作用下，電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進，又因為陽極是框形，故電子不一定第一次就碰上陽極，而是穿過陽極,然后受到對面陰極的拒斥，又復(fù)返回。這樣反復(fù)多次才可能打上陽極。由于電子路程大大加長，故碰撞及電離的分子數(shù)增加,使得在較低壓強（10-4帕以下）仍維持放電(也稱潘寧放電)。
目前比較多的型號有PKR251、GIPARY。
放電管真空計:在玻璃管中封入兩個金屬電極，在其上加上數(shù)千伏的直流高電壓，在一定的壓強范圍內(nèi)（1*10-3~2*10托)內(nèi)就能引起自持放電,通過放電顏色來判定其真空度。
目前為止此種真空計已經(jīng)很少使用,因為其誤差大,容易損壞,而且壽命不長。
三、蒸發(fā)系統(tǒng)
蒸發(fā)系統(tǒng)主要指成膜裝置部分，鍍膜機器的成膜裝置很多，有電阻加熱、電子槍蒸發(fā)、磁控濺射、射頻濺射、離子鍍等多種方式，鄙人就電阻加熱和電子槍蒸發(fā)兩種方式作介紹，因為此兩種方式我應(yīng)用的比較多。
電阻蒸發(fā)根據(jù)其結(jié)構(gòu)和工作原理是目前為止應(yīng)用最多，最廣泛的蒸發(fā)方式，也是應(yīng)用時間最長的蒸發(fā)方式。它的工作方式是,將鎢片做成船狀,然后安裝在兩個電極中間,在鎢舟中央加上藥材,再緩緩給電極通電，電流通過鎢舟，鎢舟通電發(fā)熱，這些低電壓，大電流使高熔點的鎢舟產(chǎn)生熱量，再熱傳導(dǎo)給鍍膜材料，當鎢舟的熱量高于鍍膜材料檳點的時候，材料就升華或者蒸發(fā)了，此方法由于操作方便,結(jié)構(gòu)簡單,成本低廉，故被很多設(shè)備應(yīng)用，但是其蒸發(fā)出來的薄膜由于致密性不佳,加上很多材料無法采用這種方式蒸鍍，所以其有一定局限性。鎢舟蒸發(fā)粕膜材料的時候，材料的熔點必須小于鎢舟的熔點，否則就沒有辦法進行。
電子槍蒸發(fā)是到目前為止應(yīng)用最多的一種蒸發(fā)方式，它可以蒸發(fā)任何一種鍍膜材料，它的工作方式是:將鍍膜材料放在柑蝸里面,將蒸發(fā)源制作成燈絲形狀,采用一專門的控制柜，對燈絲加一強電流，高電壓，由于燈絲的材料是鎢，所以它會發(fā)熱，到最后會發(fā)射電子，再采用一定的磁場將其聚集成一定形狀,并牽引到姑媧上，這樣就形成了一股電子束,由于電子束溫度非常高，可以榕化任何鍍膜藥材，當鍍膜藥材被電子束熔化后(有些材料是直接升華),藥材的分子(原子或者離子）在真空中成直線運動,然后遇到基板，就凝結(jié)下來,經(jīng)過這種方式生長，形成薄膜!最常用的有將電子束的偏轉(zhuǎn)角制作成 270度,或者運行軌跡為e型的e行電子槍或者電子束偏轉(zhuǎn)角 180度,運行軌跡為c型的c型電子槍兩種。
電子束蒸發(fā)的最大優(yōu)點在于:電子束的光斑可以隨意調(diào)整，可以一槍多用,燈絲可以隱藏，避免污染,可以蒸發(fā)任意鍍膜材料，維修方便，蒸發(fā)速度可以隨意控制,材料分解小，膜密度高。機械強度好。
濺射方式是用高速正離子轟擊靶材表面，通過動能傳輸，令靶材的分子（原子)有足夠的能量從靶材表面逸出,在產(chǎn)品表面凝聚形成薄膜。
用濺射的方法制鍍的薄膜附著性強，薄膜的純度高，可以同時濺射多種不同成分的材料，但是對靶材的要求高,不能象電子槍一樣節(jié)約資源。
目前運用最多的有磁控濺射，磁控濺射是指平行于陰極表面施加強電場，將電子約束在陰極靶材表面附近,提高電離效率。它是操作最簡單的一種,所以運用非常廣。
四、成膜控制系統(tǒng)
薄膜監(jiān)控目前應(yīng)用方式比較多，主要有:目視監(jiān)控法，定(極值)值監(jiān)控、水晶振蕩監(jiān)控、時間監(jiān)控等等。本人主要介紹目視監(jiān)控、定(極值)監(jiān)控和水晶振蕩監(jiān)控三種。
目視監(jiān)控也叫直接監(jiān)控，就是采用眼睛監(jiān)控，因為薄膜在生長的過程中，由于干涉現(xiàn)象會有顏色變化,我們就是根據(jù)顏色變化來控制膜厚度的，此種方式有一定的誤差，所以不是很準確，需要依靠經(jīng)驗。
定值(極值)監(jiān)控:主要是采用反射式(透過式)光學(xué)監(jiān)控。極值監(jiān)控法:當膜厚度增加的時候其反射率和穿透率會跟著起變化，當反射率或穿透率走到極值點的時候，就可以知道鍍膜之光學(xué)厚度 ND是監(jiān)控波長(入）的四分之一的整數(shù)倍。但是極值的方法誤差比較大，因為當反射率或者透過率在極值附近變化很慢，亦就是膜厚ND 增加很多，RT 才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長處。
定值監(jiān)控法:此方法利用停$點不在監(jiān)控波長四分之一波位,然后由計算機計算在波長一時總膜厚之反射率(或者穿透率)是多少，此即為停止鍍膜點。
水品振蕩監(jiān)控:
水晶振蕩的工作原理是:利用石英晶體振動頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的。但是石英監(jiān)控有一個不好之處就是當膜厚增加到一定厚度后，振動頻率不全然由于石英本身的特性使厚度與頻率之間有線性關(guān)系,此時必須使用新的石英振蕩片。
幾種監(jiān)控方法各有優(yōu)劣,但通常鍍多層膜,會以光學(xué)監(jiān)控為主，石英品體振蕩為輔助的方法。
除此之外,對于有些在鍍膜過程中需要充入氣體的還有流量控制計或者壓力控制計，這些需要采用精密的閥門和光電傳感系統(tǒng)來控制。
在鍍膜過程中還需要回轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)，就是將傘具的主軸置于軸承里面,然后再利用電機帶動軸承，使傘具回轉(zhuǎn)。然后再PLC控制其回轉(zhuǎn)速度。
紺瑛回轉(zhuǎn)采用電機帶動，光電感應(yīng)計數(shù)的方法，遮藥板采用氣動開關(guān)方式轉(zhuǎn)動。
為了加快抽氣速率，達到一定的真空度，還需要對真空腔進行制冷，就是將真空腔里面的空氣冷凍到零下13O攝氏度,將真空腔里面的水氣冷凍并被泵抽走。
電氣控制部分主要采用 PLC自動控制，就是先在 PLC 中輸入預(yù)先設(shè)計好的程序,處理器主電路與操作面板上的各空駛系統(tǒng)相連接，當按下操作面板上的開關(guān)的時候，信息傳遞到中央處理器,再由中央控制系統(tǒng)分析并發(fā)出指令由支路執(zhí)行并完成動作。
鍍膜機是集多門學(xué)科的設(shè)備，它集成了當今工業(yè)最先進的機電技術(shù)，控制技術(shù)、電氣自動化、IT 技術(shù)、制冷技術(shù)，微電路集成系統(tǒng)、高壓控制系統(tǒng)、機械技術(shù)、加工技術(shù)、光電技術(shù)、光學(xué)技術(shù)、氣動控制技術(shù)、光電傳感技術(shù)、通訊技術(shù)、真空技術(shù)、薄膜光學(xué)與鍍膜技術(shù)等等。可以說鍍膜機是新興的產(chǎn)業(yè)代表。
到今天，鍍膜機已經(jīng)被廣泛應(yīng)用,制鍍薄膜尤其廣泛，其制作的各種薄膜被應(yīng)用到各光電系統(tǒng)及光學(xué)儀器中，如數(shù)碼相機、數(shù)碼攝像機、望遠鏡、投影機、能量控制、光通訊、顯示技術(shù)、干涉儀、人造衛(wèi)星飛彈、半導(dǎo)體激光、微機電系統(tǒng)、信息工業(yè)、激光的制作、各種濾光片、照明工業(yè)、傳感器、建筑玻璃、汽車工業(yè)、裝飾品、錢幣、眼鏡片等等，鍍膜機器已經(jīng)與人類的生活緊密聯(lián)系。
