蒸發(fā)鍍膜可以采用哪些蒸發(fā)源
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2023-01-11 閱讀
【康沃真空網(wǎng)】鍍膜行業(yè)中可以應(yīng)用蒸發(fā)的方式實(shí)現(xiàn)薄膜沉積。利用這種薄膜沉積方法，將用于沉積的源材料在真空中蒸發(fā)，蒸汽粒子即可以自由地移動(dòng)到基材的表面。在到達(dá)基材襯底時(shí)，蒸發(fā)的材料沉降并凝結(jié)回固態(tài)，在基材上形成薄膜。
不同蒸發(fā)源的種類
用于制造蒸發(fā)源的材料通常具有高熔點(diǎn)和低蒸氣壓。
燈絲
燈絲材質(zhì)為鎢、鉬、鉭等高熔點(diǎn)金屬，一般將蒸發(fā)物質(zhì)掛或放置在燈絲上，在真空中使大電流通過包含蒸發(fā)材料的燈絲，這些材料將被加熱到它們的熔點(diǎn)最終使其蒸發(fā)。
坩堝
用于蒸發(fā)薄膜沉積的坩堝由耐高溫材料制成，其材質(zhì)包括鎢、鉬、鉭、及耐高溫的氧化鋁、石墨或氮化硼。通常，制造商需要根據(jù)要蒸發(fā)的材料來(lái)選擇不同的坩堝。
蒸發(fā)舟
蒸發(fā)舟是真空蒸發(fā)鋁材料的最佳熱蒸發(fā)源。通常舟形蒸發(fā)源是采用鎢材料制造的，現(xiàn)在蒸發(fā)舟亦由可導(dǎo)電的高性能陶瓷復(fù)合材料制成，使用的主要原材料是氮化硼和二硼化鈦，蒸發(fā)面可開槽或進(jìn)行激光表面刻蝕，其性能可靠，蒸發(fā)率精確且使用壽命長(zhǎng)。
