【康沃真空網(wǎng)】高純?yōu)R射靶材，包括鋁靶、鈦靶、鉭靶、鎢鈦靶等。濺射靶材主要涉及平板顯示、半導(dǎo)體、存儲(chǔ)和太陽(yáng)能電池四大領(lǐng)域。
鋁靶
高純鋁及其合金是應(yīng)用最廣泛的導(dǎo)電膜材料之一。在其應(yīng)用領(lǐng)域，VLSI芯片的制造對(duì)濺射靶金屬的純度要求最高，通常要求高達(dá)99.9995%，平板顯示器和太陽(yáng)能電池的金屬純度略低。
鈦靶
鈦是超大規(guī)模集成電路芯片中最常用的阻隔膜材料之一（對(duì)應(yīng)的導(dǎo)電層材料為鋁）。在預(yù)芯片制造過(guò)程中，鈦靶將與鈦環(huán)一起使用。主要作用是輔助鈦靶完成濺射工藝，主要應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路芯片制造領(lǐng)域。
鉭靶
隨著智能手機(jī)平板等消費(fèi)電子產(chǎn)品需求爆發(fā)式增長(zhǎng)，高端芯片需求大幅增加，使得金屬鉭成為熱點(diǎn)礦產(chǎn)資源，但鉭資源稀缺，使得高純鉭靶材價(jià)格昂貴，主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路等領(lǐng)域。
鎢鈦靶材
鎢鈦合金具有低電子遷移率、穩(wěn)定的熱機(jī)械性能、良好的耐腐蝕性和良好的化學(xué)穩(wěn)定性。近年來(lái)，鎢鈦合金濺射靶材被用作半導(dǎo)體芯片柵極電路的接觸層材料。此外，鎢和鈦靶材還可用作半導(dǎo)體器件金屬連接中的阻擋層。用于高溫環(huán)境，主要用于超大規(guī)模集成電路和太陽(yáng)能電池。
超高純金屬和濺射靶材是電子材料的重要組成部分。濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈主要由金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應(yīng)用組成，其中靶材制造和濺射是整個(gè)濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
