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采用非平衡磁控濺射技術(shù)分別在氮化硅陶瓷球和高速工具鋼圓盤表面制備了類金剛石(DLC)膜。使用箱式電阻爐對DLC膜在大氣環(huán)境中進行高溫退火處理以研究環(huán)境溫度對DLC膜摩擦學(xué)性能的影響;并分別采用激光拉曼光譜儀和球-盤式摩擦磨損試驗機對退火處理前后DLC膜的結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能進行了研究。采用金相顯微鏡觀察了摩擦副磨損表面的形貌。研究發(fā)現(xiàn),隨著退火溫度的升高...
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