真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結。是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備，它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。真空燒結爐使用有哪些注意事項以及日常應急計劃？跟小編一起來看看吧！
一、真空燒結爐的使用必備技巧
真空燒結爐是在抽真空后充氫氣保護狀態下，利用中頻感應加熱的原理，使處于線圈內的鎢坩堝產生高溫，通過熱輻射傳導到工作上，適用于科研、軍工單位對難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結。安裝電爐的場所應符合真空衛生的要求，周圍的空氣應清潔和干燥，并有良好的通風條件，工作場地不易揚起灰塵等。
真空燒結爐的日常使用技巧：
1、檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。
2、控制柜安裝在相應的地基上，并固定。
3、安照接線圖，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線無誤。
4、檢查電器可動部分應活動自如，無卡死現象。
5、絕緣電阻應不低于2兆歐姆。
6、真空電爐各閥門必須在關閉位置。
7、控制電源開關放在關位。
8、手動調壓旋鈕逆時針旋動頭。
9、報警鈕放在開位。
10、按平面圖完成設備的循環冷卻水聯接，建議用戶在設備總進出水管處再接入一備用水（可用自來水），防止循環水有故障或斷電導致密封圈燒壞。
小編特別提醒使用真空燒結爐時如下幾點需特別注意：
1、由于模具一般由用戶自備，模具材料基本上選用高純石墨，其耐壓極限為40MPa，建議用戶使用在30MPa以下比較安全，加壓前應計算模具上、下沖頭的面積，再換算成壓力，具體公式如下：
系統允許加壓（噸）=上或下沖頭面積×30MPa
2、熱電偶為鎢錸型，使用過會發脆，不能接觸。如損壞應及時更換。其型號是W2型。
3、冬天應注意循環水的保暖問題，否則易發生水管爆裂。
4、使用后爐體應保持真空，因爐內保溫層易受潮，保真空這樣下次抽真空會快些。
5、因設備較復雜，建議專人使用，專人負責，對新手嚴格實行用前培訓，用后檢查，操作使用要有記錄等設備使用規定。
6、本熱壓爐也可當作真空燒結爐使用，用于真空燒結爐時注意，在爐內放置坩堝后，在蓋上保溫屏蓋后不要忘記再蓋其中間的小蓋。否則易燒損電爐。
7、操作前應做到清潔觀察窗玻璃，清潔爐內壁，觀察水壓情況，觀察爐內石墨是否有損壞，上電后觀察儀表顯示是否正常，測試液壓系統能否正常工作。
8、電爐使用一年后應將儀表后送計量部門進行校對。
二、真空燒結爐的應急方法
冷卻水異常：
1、確認加熱電源已停止。
2、爐外發生漏水，冷卻水量異常時，應盡快采取應急措施，如能保證水量，請繼續保持真空，如不能采取應急措施，保持原狀，確認設備冷卻下來。
3、冷卻水發生異常時，設備處于停止狀態，馬上接通緊急用冷卻水。
4、在高溫（超過200℃即視為高溫）時，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
壓縮空氣的停止：
1、壓縮空氣異常報警時，設備處于停止狀態，應盡快到備用的壓縮機房，讓其恢復工作。
2、真空中如壓縮空氣異常報警，且恢復需要較長時間時，則終止真空，讓設備停下來。
突然停電：
1、停電時，如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。
2、如果在非升溫、加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，繼續運轉如需要較長時間，則將設備保持原狀。
3、如果正在加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，如果需要較長時間時，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來。
加熱電源掉電：
1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。
2、接地故障。
3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。
4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時（此真空度容易發生放電）。電源出現故障，掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。
充氣氣體（氬氣或氮氣）停止：
1、抽真空開始前，氣體充入時間長或者無法充入時，請確認氣體管路是否被堵塞。
2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再進行檢查。
3、向真空室內充氣不能停止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。
4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質量。
真空室壓力惡化：
1、真空排氣時間比通常長時，應把設備停下來進行檢查，根據真空室內構造物不同狀態下放氣的影響，也有導致壓力升高的情況。
2、通過壓力上升測試或者用氦氣檢漏來確認是漏氣還有放氣的影響。
以上內容就是小編為大家介紹的真空燒結爐的使用必備技巧及日常應急方法，在真空和保護性氣氛中，對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結，要獲得一定密度和具有一定機械性能的材料時，一般采用兩種工藝；即有壓燒結和無壓燒結。有壓燒結具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點。
