由于真空滲碳是在遠低于大氣壓10kPa (760Torr)的壓力下完成的，低壓真空滲碳的典型氣壓范圍是400～666 (3～5Torr)，真空條件使得碳原子更容易向鋼材表面轉移；同時因為不存在氣體滲碳工藝中的水煤氣反應，因而也就沒有內氧化現象。
(2)應用實例
汽車變速器齒輪與軸齒，原采用常規滲碳淬火工藝，由于滲碳氣氛載氣中存在氧和氧化物，內氧化現象無法避免，同時熱處理畸變較大。
例1，輸出軸，材料20MnCr5，熱處理技術要求：表面與心部硬度分別為680～780HV30和350～480HV30，有效硬化層深度（硬度550HV1）為0.7～1.0mm。
1)工藝。滲碳溫度950℃，加熱和均溫時間50min；滲碳時間10.13min；擴散時間78.87min；淬火介質為高純度氮氣；淬火壓力2MPa；淬火時間10min；富化率為13.81mg/h·cm2；回火溫度150℃；回火時間2.5h。
2)檢驗結果。表面與心部硬度分別為725～727HV30和434～442HV30；齒面有效硬化層深度為0. 788mm (550HV1)；齒面金相組織為碳化物（1級）+殘留奧氏體（2級）+馬氏體（2級），無明顯的非馬氏體組織；檢查三處軸徑變形（徑向跳動）分別為0. 021～0.045mm、0. 029～0. 089mm和0.041～0. 054mm。
例2，從動錐齒輪，材料16MnCr5，熱處理技術要求：表面與心部硬度分別為680～780HV30和320～480HV30，有效硬化層深度（硬度510HV1）為0.5～0.8mm。
1)工藝。滲碳溫度950℃，加熱和均溫時間50min；滲碳時間9.25min；擴散時間49.75min；淬火介質為高純度氮氣；淬火壓力1.5MPa；淬火時間15min；回火溫度150℃；回火時間3h。
2)檢驗結果。表面與心部硬度分別為720～729HV30和350～356HV30；齒面有效硬化層深度為0.64mm (550HVl)；齒面金相組織為碳化物（1級）+殘留奧氏體（2級）+馬氏體(2級)，無明顯的非馬氏體組織；熱處理變形：外平面平面度<0.05mm，內平面平面度<0.10mm，內孔圓度<0.05mm。
例3，采用低壓真空滲碳不僅徹底解決了內氧化問題，而且低壓滲碳設備的應用溫度達到1050℃，可以在不使鋼材晶粒度明顯增大、不影響零件力學性能的條件下，提高滲碳速度，從而大幅度提高了滲碳速度，縮短了生產周期，提高了生產效率，節省了能源。
1)滲碳設備為低壓真空滲碳設備，材料20CrMnMo、20Cr、20Ni4A，滲碳工藝條件及要求：滲碳溫度980℃；滲碳層深度0.80mm；表面碳濃度0.84%。
2)檢測結果。滲碳層深度為0.82mm；表面碳濃度0.85%；碳濃度梯度分布與模擬曲線基本吻合。經過滲碳淬火的齒輪，表面為金屬原色，滲層無內氧化情況，組織細而均勻，達到了理想的狀態。
