來源:真空技術網
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為了在光學加工中快速、可靠地裝夾光學元件，設計了真空夾具，對該真空夾具引起光學元件變形量進行了分析。s*先，根據光學加工對夾具的要求，應用手動靜壓快速夾頭以及傳統真空吸盤結構，設計了真空夾具；接著，對真空夾具引起光學元件變形量進行了仿真分析，并根據分析結果改進了真空夾具結構；z*...
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