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微裝配的對象主要是微米級或亞毫米級尺寸的微器件,這些微器件的輕、小、薄、軟的特征對微夾持器的夾持方式和夾持力的控制提出了非常嚴格的要求和限制。本文針對平板類微器件設計了一種真空吸附式微夾持系統,不僅可以吸附不同形狀和尺寸的零件,而且...
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