渦旋無油真空泵技術的發展與現狀 摘要：本文總結了渦旋無油真空泵技術的發展與現狀，其內容包括從渦旋技術的發展到渦旋技術在各行業的應用；從渦旋無油真空泵的原理到渦旋無油真空泵的制造技術及技術指標；從世界各國渦旋真空泵的發展到我國渦旋真空泵的發展現狀，對渦旋無油真空泵的狀況有一個系統的介紹關鍵詞：真空泵無油泵渦旋技術Atract：Technology development 0f oil free scroll pum is summarized in this paper．The content from scroll technology's emergence to its alication in various trades：from oil free scroll pump's working principle to its manufacturing technology and ecification，and from oil free scroll pump development in the world to oil free scroll pump's development in China are all introduced and discued．Key words：Vacuum pump，oil free vacuum pump，scrol ls technology 1 引言渦旋的概念相當久遠，20世紀初世界上就已經有了渦旋技術的專利。但由于當時技術水平的限制，渦旋機構制造不出來，渦旋的概念也就被淡忘了。
        1973年渦旋機構被重新提起并制造出第一臺模型機構，使這項技術實際應用成為可能。渦旋機構的可靠性高、運行平穩、噪音極低、節省能源等潛力和巨大優勢馬上引起了冰箱行業的重視和迫切需求，大受行業領先者青睞，迅速被投入工業化應用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司的渦旋壓縮機技術與產品弓領了世界渦旋技術實用化的浪潮，帶動了如冰箱、空調等諸多行業的技術進步和產品的更新換代。今天渦旋技術已經由初期的應用在壓縮機行業推廣到真空泵制造業，實現了全無油、運行更平穩、噪音更低、更加節省能源的渦旋清潔真空獲得技術的實用化。人們應用渦旋概念與原理制造出了對真空應用儀器設備和環境沒有污染，并且抽速、壽命、能耗等指標均優于普通油泵的單級、雙級渦旋無油真空泵系列產品。上個世紀 90 年代初，世界上s*臺渦旋真空泵推向市場，渦旋技術由此開始作為一種新型真空獲得技術在世界范圍內被推廣應用。
        到目前為止，世界上渦旋真空泵的生產廠家集中在美 國、日本和歐洲，以日本的 Anest 1wata 、美國的 Varian 、 德國的 Bush 等為代表。產品包括了自0．25L／S-1OL／S系列產品，有些15L／S或更大抽氣量的產品也在試驗階段。