無油渦旋真空泵技術的發展與應用 寧憲寧中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司
        一、引言 渦旋的概念相當久遠，20世紀初世界上就已經有了渦旋技術的專利。但由于當時技術水平的限制，渦旋機構制造不出來，渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機構被重新提起并制造出第一臺模型機構，使這項技術實際應用成為可能。渦旋機構的可靠性高、運行平穩、噪音極低、節省能源等潛力和巨大優勢馬上引起了冰箱行業的重視和迫切需求，大受行業領先者青睞，迅速被投入工業化應用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司的渦旋壓縮機技術與產品引領了世界渦旋技術實用化的浪潮，帶動了如冰箱、空調等諸多行業的技術進步和產品的更新換代。今天渦旋技術已經由初期的應用在壓縮機行業推廣到真空泵制造業，實現了全無油、運行更平穩、噪音更低、更加節省能源的渦旋清潔真空獲得技術的實用化。人們應用渦旋概念與原理制造出了對真空應用儀器設備和環境沒有污染,并且抽速、壽命、能耗等指標均優于普通油泵的單級、雙級無油渦旋真空泵系列產品。上個世紀90年代初，世界上s*臺渦旋真空泵推向市場，渦旋技術由此開始作為一種新型真空獲得技術在世界范圍內被推廣應用。到目前為止，世界上渦旋真空泵的生產廠家集中在美國、日本和歐洲，以日本的Anestta、美國的Varian、德國的Busch等為代表。產品包括了自0.25L/S到10L/S系列產品，有些15L/S或更大抽氣量的產品也在試驗階段。
        二、無油渦旋真空泵的特點與應用領域 清潔的真空環境一直是科學家和企業界追求的理想真空環境.自能夠創造真空環境開始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果.時至今日,清潔真空獲得設備已經發展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產品.在現有的無油真空泵當中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點: ①.無油，無摩擦——真空腔內無油，非接觸，無磨損，不產生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；②.抽氣量大——雙渦旋盤，結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節省能源；③.抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元，壓差小；大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低；④.非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動小；⑤.結構簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩；⑥.體積小，維修方便，維護費用低；⑦.采用空氣冷卻，無需水冷。目前無油渦旋真空泵的應用領域為:①.半導體行業——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備；②.科學儀器行業——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；③.機械設備行業——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備；④.化學工業；⑤．醫療設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備；⑥．包裝行業——食品、藥品、生物制品等包裝設備。