【康沃真空網】真空技術清潔處理一般指的是真空裝置的結構材料、填裝材料和真空零(部)件的清潔處理。去除或減少污染物將有利于獲得良好真空，增加連接強度和氣密性，提高產品的壽命和可靠性。
(一)污染物的幾種類型
①油脂:加工、安裝和操作時沾染的潤滑劑、真空油脂等;
②水滴:操作時的手汗，吹玻璃時的唾液等;
③表面氧化物:易氧化材料長期暴露或放置在潮濕大氣中所形成的表面氧化物;
④酸、堿、鹽類物質:清洗后的殘余物質、手汗、自來水中的礦物質等;
⑤空氣中的塵埃及其它有機物。
(二)污染的形成及其影響真空裝置由許多不同的零件組成，它們都是經過各種機械加工完成的，如車、銑、刨、磨、銼、焊接等。這樣，零件表面不可避免地會沾上許多加工油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物。這些污染物在真空中易揮發，影響真空設備的極限真空。此外，污染物在大氣壓下吸附了大量的氣體，在真空環境中，這些氣體也要被釋放出來。構成了限制真空設備極限真空的因素。為此，零件組裝前必須清除掉污染物。
超高真空系統中，清潔處理更為重要。良好的清潔處理工藝，可以使材料放氣率降低幾個數量級。好的清潔處理工藝，可以提高設備的極限真空。
此外，在各類真空工藝生產中，例如電真空工藝、真空鍍膜工藝、真空焊接工藝等，都十分重視真空衛生問題。真空工藝中，要求裝配到高真空環境的零件，事先都必須小心地進行清洗處理，否則各種污染物可成為大量氣體和蒸氣的來源，會大大延長真空器件的排氣時間，不易獲得高真空;對離子管而言，這種意外的氣體和蒸氣來源將使管內原有氣體的純度變差，以致無法得到預期的特性。
其次，污染物可使元件本身變質，例如使陰極毒化(特別是非金屬陰極)，在電極間引起漏電，某些部分(例如控制柵)產生不必要的次級發射等。利用各種清洗方法，使油脂、金屬細屑、灰塵、表面附著物以及不需要的氧化膜和石墨膜等徹底去除，可以提高電真空器件的壽命和可靠性。
綜上所述，真空衛生涉及到真空系統、真空裝置和真空工藝生產各方面，涉及到真空裝置本身和特殊真空工藝對周圍環境的要求，這是一個值得重視的問題。
