我國真空設備行業不“真空”
據了解，日本真空工業會中除了一部分已經在中國進行合資外，大部分企業都有在中國投資合作生產、經營、委托加工的意向。真空行業作為我國國民經濟的裝備行業之一，應用十分廣泛，主要用于冶金、電工、石油化工、建材、汽車、航空航天、工具、造紙、包裝、食品、醫藥、醫療器械、果蔬貯存、以及信息工程、生物工程、微電子等等領域。隨著微電子技術的發展，電子元器件、電路的尺寸越來越小，集成度愈來愈高，使真空技術與微電子技術關系更為密切，并成為一門不可缺少的技術。據報道，日本真空廠商的銷售額中2／3是面向電子工業的，其中有一半是面向集成電路。在近代集成電路制造的工藝中，有一半工序是在真空環境下進行的，而當今的超大規模集成電路大約有3／4的工序需要有真空條件。
據了解，我國真空設備行業歷經40余年的發展，產品從制造單泵開始，逐步發展到今天能生產各種成套真空設備，形成了完整的真空工業體系。我國的真空設備行業產品主要有兩大類，一類是獲得和測量技術與產品，如泵、閥、儀表；另一類為應用技術與設備，應用設備只占應用與獲得產品銷售比重的15％，其余為獲得設備。據不完全統計，2000年，國內真空設備行業總銷售收入超過10億元。目前，我國真空設備行業較知名的企業有浙江真空設備廠、沈陽真空技術研究所、國投南光有限公司及北京七星華創電子股份有限公司。
近年來，我國真空設備行業無論是產品的技術水平，還是可靠性方面都有了長足發展。但是，與國外同行相比，我國真空設備行業的水平和能力還是很低的，尤其是代表當今高技術水平的真空應用設備，如應用在電子材料、半導體材料及IT產業的真空設備，則還主要依賴進口，國內企業的生產能力和技術水平上還缺少競爭力，并且在較長時間內難于扭轉這種局面。
