真空獲得設備產品和技術進展趨勢
真空獲得設備產品和技術進展趨勢
李春影(中國真空學會真空獲得與測量專委會)
在真空設備的三大類產品：真空獲得設備、真空應用設備、真空測量儀表中，真空獲得設備是基礎設備。人們用它來得到真空環境，以達到不同的應用目的。
我國生產真空獲得設備已經有近70年的生產歷史，從三十年代生產第一臺抽氣機到2003年底，年產各種真空泵17萬臺左右，經過幾代人幾十年的努力，目前真空獲得設備的科研開發、生產制造、經營銷售已經形成了體系規模。
但是目前國內真空獲得產品的狀況是高端產品滿足不了國內市場需求，依靠進口，低端產品競爭激烈，價格低廉，利潤微薄。這種局面如果不能盡快扭轉，國內生產真空獲得設備的企業將陷入更大的困境。
1 產品概況 真空獲得設備主要包括：旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵、蒸汽流真空泵、往復真空泵、液環真空泵、分子泵、低溫泵、離子泵、干泵、分子篩吸附泵等等。其中又以前四種產品產量z*大。
(1)旋片真空泵 旋片真空泵的性能指標主要有極限壓力、抽氣速率、噪聲、比功率等。 按照我國產品的規格系列分類，旋片真空泵可以分為直聯泵和皮帶泵。直聯泵由泵軸和電機直接聯接而得名，其主要特點是體積小，轉速高。目前國內市場該泵的規格有2XZ-O.25、2XZ-O.5、2XZ-1、2XZ-2、2XZ-4、2XZ-8。由于直聯泵轉速較高，一般達到1400轉／分，因此對旋片材料、密封件等要求高，因此一般國內產品z*大做到2XZ-8，再大規格的泵生產廠應客戶的特殊要求安排生產。該泵主要用于空調、電冰箱、醫療器械、科學儀器等行業。
皮帶泵也是通常所說的普速泵，轉速一般在 400~500轉／分，體積比直聯泵大出1／3左右。該泵的特點是運行可靠。目前產品規格有 2X-O·5、2X-1、2X一2、2X-4、2X-8、2X-15、2X-30、2X-70。該泵除了可單獨使用外，主要與其他泵組成機組用于機械、化工、冶金、包裝、造紙等各行各業。 旋片真空泵還可以按照結構分為單級和雙級，其主要區別在于所得到的極限真空度不同。
(2) 羅茨真空泵 羅茨真空泵的性能指標有極限壓力、抽氣速率、z*大允許壓差、零經量z*大壓縮比、噪聲等。羅茨真空泵主要分為普通型和帶旁通閥型羅茨泵。普通型羅茨泵的規格型號為ZJ-30、ZL-70、ZJ-150、ZJ-300、ZJ-600、ZJ-1200、ZJ-2000、ZJ2500、ZJ-5000等。如用戶有要求，可做到20000L／S( 即ZJ-20000)以上。帶旁通閥型羅茨泵的規格型號為ZJP-30、ZLP-70、ZJP-150、ZJP-300、ZJP600、ZJP-1200、ZJP-2000、ZJP-2500、ZJP-5000等。帶旁通閥羅茨泵由于在進出口之間安裝了旁通閥，當進出口壓差過大時，旁通閥自動打開，起到過載保護作用，因此該產品受到用戶青睞。此外，還有直排大氣羅茨泵、氣冷羅茨泵、水封羅茨泵等等。除了直排大氣羅茨泵，大多數羅茨泵不能單獨使用，要與其它真空泵組成機組，才能正常工作。該泵的特點是啟動快，抽氣量大，抽氣時間短，在冶金、化工、造紙等行業很受歡迎。
(3) 滑閥真空泵 滑閥真空泵的主要性能指標與旋片真空泵相同。 滑閥真空泵可分為單級和雙級兩種類型。單級滑閥泵的極限壓力一般為1Pa左右，其規格型號有H-7、H-8、H-25、H-70、H-150、H-300、H-600等。雙級滑閥泵的極限壓力可達到0.06Pa，規格有2H-8、2H-15、2H-30、2H一70等。滑閥真空泵可以單獨使用，但多數情況下與其他真空泵組成機組而廣泛用于冶金、化工、電工等行業。其特點是抽氣量大，運行可靠，可抽出少量可凝性氣體。
(4) 油擴散泵 油擴散泵是蒸汽流真空泵中的一種，其主要性能指標有極限壓力、抽氣速率、臨界前級壓力、泵液反經率、加熱時間、加熱功率等。該泵與以上三種泵的抽氣機理不同。它是利用蒸汽流作用產生壓強差，使氣體向蒸汽流中擴散，再經壓縮到泵的出口，由前級泵排除。 油擴散泵可分為兩個系列，直筒型和凸腔型。直筒型的規格有K-100、K-160、K-200、K-300、K-400、K-600、K-800、K-1000、K-1200等。凸腔型的規格有KT-150、KT-200、KT-300、KT-320、KT-400、KT-500、KT-600、KT-800、KT-1000等。由于凸腔泵的腔體外凸增大，因此抽速比直筒泵高出30％左右。油擴散泵與羅茨泵、旋片泵等組成機組，用于機械、冶金、薄膜等行業。其特點是極限真空度高，可達到1×lO-5pa，沒有機械運動，可靠性好。國產油擴散泵都存在一定的返油，易造成油污染，因此限定了它的使用條件。
(5) 水環真空泵 水環真空泵是液環真空泵中的一種。它以水為介質達到真空目的。其主要性能指標有z*大氣量、極限真空度等。 水環真空泵的型號規格很多，有SK單級水環泵系列，2SK雙級水環泵系列，2BEI水環泵系列等等。該泵的特點是抽氣量大、無油污染，可抽出潮濕氣體。可以單獨使用，也可以組成機組。目前國產水環泵向大型化發展，20000m3／h的水環泵已經用于煤礦的安全生產。
(6) 分子泵和干泵 分子泵在國外是高真空領域的主泵，主要用于半導體、薄膜工業等。在國內還沒有大規模應用于工業生產。 干泵是應半導體、薄膜等產業的迅速發展應運而生。該泵可做為分子泵的前級泵，從而實現全無油高真空系統。干泵在國內剛剛起步。目前有爪型泵、葉片泵、往復活塞泵、螺桿泵等等。
李春影(中國真空學會真空獲得與測量專委會)
在真空設備的三大類產品：真空獲得設備、真空應用設備、真空測量儀表中，真空獲得設備是基礎設備。人們用它來得到真空環境，以達到不同的應用目的。
我國生產真空獲得設備已經有近70年的生產歷史，從三十年代生產第一臺抽氣機到2003年底，年產各種真空泵17萬臺左右，經過幾代人幾十年的努力，目前真空獲得設備的科研開發、生產制造、經營銷售已經形成了體系規模。
但是目前國內真空獲得產品的狀況是高端產品滿足不了國內市場需求，依靠進口，低端產品競爭激烈，價格低廉，利潤微薄。這種局面如果不能盡快扭轉，國內生產真空獲得設備的企業將陷入更大的困境。
1 產品概況 真空獲得設備主要包括：旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵、蒸汽流真空泵、往復真空泵、液環真空泵、分子泵、低溫泵、離子泵、干泵、分子篩吸附泵等等。其中又以前四種產品產量z*大。
(1)旋片真空泵 旋片真空泵的性能指標主要有極限壓力、抽氣速率、噪聲、比功率等。 按照我國產品的規格系列分類，旋片真空泵可以分為直聯泵和皮帶泵。直聯泵由泵軸和電機直接聯接而得名，其主要特點是體積小，轉速高。目前國內市場該泵的規格有2XZ-O.25、2XZ-O.5、2XZ-1、2XZ-2、2XZ-4、2XZ-8。由于直聯泵轉速較高，一般達到1400轉／分，因此對旋片材料、密封件等要求高，因此一般國內產品z*大做到2XZ-8，再大規格的泵生產廠應客戶的特殊要求安排生產。該泵主要用于空調、電冰箱、醫療器械、科學儀器等行業。
皮帶泵也是通常所說的普速泵，轉速一般在 400~500轉／分，體積比直聯泵大出1／3左右。該泵的特點是運行可靠。目前產品規格有 2X-O·5、2X-1、2X一2、2X-4、2X-8、2X-15、2X-30、2X-70。該泵除了可單獨使用外，主要與其他泵組成機組用于機械、化工、冶金、包裝、造紙等各行各業。 旋片真空泵還可以按照結構分為單級和雙級，其主要區別在于所得到的極限真空度不同。
(2) 羅茨真空泵 羅茨真空泵的性能指標有極限壓力、抽氣速率、z*大允許壓差、零經量z*大壓縮比、噪聲等。羅茨真空泵主要分為普通型和帶旁通閥型羅茨泵。普通型羅茨泵的規格型號為ZJ-30、ZL-70、ZJ-150、ZJ-300、ZJ-600、ZJ-1200、ZJ-2000、ZJ2500、ZJ-5000等。如用戶有要求，可做到20000L／S( 即ZJ-20000)以上。帶旁通閥型羅茨泵的規格型號為ZJP-30、ZLP-70、ZJP-150、ZJP-300、ZJP600、ZJP-1200、ZJP-2000、ZJP-2500、ZJP-5000等。帶旁通閥羅茨泵由于在進出口之間安裝了旁通閥，當進出口壓差過大時，旁通閥自動打開，起到過載保護作用，因此該產品受到用戶青睞。此外，還有直排大氣羅茨泵、氣冷羅茨泵、水封羅茨泵等等。除了直排大氣羅茨泵，大多數羅茨泵不能單獨使用，要與其它真空泵組成機組，才能正常工作。該泵的特點是啟動快，抽氣量大，抽氣時間短，在冶金、化工、造紙等行業很受歡迎。
(3) 滑閥真空泵 滑閥真空泵的主要性能指標與旋片真空泵相同。 滑閥真空泵可分為單級和雙級兩種類型。單級滑閥泵的極限壓力一般為1Pa左右，其規格型號有H-7、H-8、H-25、H-70、H-150、H-300、H-600等。雙級滑閥泵的極限壓力可達到0.06Pa，規格有2H-8、2H-15、2H-30、2H一70等。滑閥真空泵可以單獨使用，但多數情況下與其他真空泵組成機組而廣泛用于冶金、化工、電工等行業。其特點是抽氣量大，運行可靠，可抽出少量可凝性氣體。
(4) 油擴散泵 油擴散泵是蒸汽流真空泵中的一種，其主要性能指標有極限壓力、抽氣速率、臨界前級壓力、泵液反經率、加熱時間、加熱功率等。該泵與以上三種泵的抽氣機理不同。它是利用蒸汽流作用產生壓強差，使氣體向蒸汽流中擴散，再經壓縮到泵的出口，由前級泵排除。 油擴散泵可分為兩個系列，直筒型和凸腔型。直筒型的規格有K-100、K-160、K-200、K-300、K-400、K-600、K-800、K-1000、K-1200等。凸腔型的規格有KT-150、KT-200、KT-300、KT-320、KT-400、KT-500、KT-600、KT-800、KT-1000等。由于凸腔泵的腔體外凸增大，因此抽速比直筒泵高出30％左右。油擴散泵與羅茨泵、旋片泵等組成機組，用于機械、冶金、薄膜等行業。其特點是極限真空度高，可達到1×lO-5pa，沒有機械運動，可靠性好。國產油擴散泵都存在一定的返油，易造成油污染，因此限定了它的使用條件。
(5) 水環真空泵 水環真空泵是液環真空泵中的一種。它以水為介質達到真空目的。其主要性能指標有z*大氣量、極限真空度等。 水環真空泵的型號規格很多，有SK單級水環泵系列，2SK雙級水環泵系列，2BEI水環泵系列等等。該泵的特點是抽氣量大、無油污染，可抽出潮濕氣體。可以單獨使用，也可以組成機組。目前國產水環泵向大型化發展，20000m3／h的水環泵已經用于煤礦的安全生產。
(6) 分子泵和干泵 分子泵在國外是高真空領域的主泵，主要用于半導體、薄膜工業等。在國內還沒有大規模應用于工業生產。 干泵是應半導體、薄膜等產業的迅速發展應運而生。該泵可做為分子泵的前級泵，從而實現全無油高真空系統。干泵在國內剛剛起步。目前有爪型泵、葉片泵、往復活塞泵、螺桿泵等等。
