21世紀真空獲得技術的展望
21世紀真空獲得技術的展望
姜燮昌上海真空泵廠 201709
我國真空獲得設備的現狀: 真空獲得設備是一個z*大面廣的產品，產量很大，產值不高，但它確實是一個影響到真空成套設備性能質量的必不可少的基礎產品。
真空獲得設備從粗、低真空到超高真空,其產品大致可分成14大類:
高/超高真空——分子泵、低溫泵、濺射離子泵、鈦升華泵、油擴散泵中真空——干泵、雙極選片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸汽噴射泵粗、低直空——單級旋片泵、滑閥泵、液環泵、往復式真空泵
我國的真空工業自從1934年在上海誕生第一臺往復式真空泵以來，已有70年的歷史。目前國內的真空企業中70％以上都是以生產真空泵和真空機組為主。各種往復泵、水環泵、旋片泵、滑閥泵、羅茨泵、水蒸汽噴射泵、油增壓泵、油擴散泵均已形成系列，并批量生產。雖然上述這些我們稱之為“傳統的真空獲得產品”在極限真空、抽氣速率等主要技術指標與國外同類產品相比差距不大，但其綜合性能質量差距很大。尤其是量大面廣的旋片泵、滑閥泵、羅茨泵普遍都存在振動噪聲大、噴油漏油以及故障率高、可靠性差的問題，國產的水環泵普遍也是功耗大，抽氣效率低。油擴散泵返油都比較嚴重，而且工作壓強范圍也比國外泵窄了半個到一個數量級。
目前我國真空技術的應用90％左右都是集中在傳統的工業領域，如真空冶金、真空熱處理、真空于燥、真空浸漬、真空蒸餾、濃縮以及一般的光學鍍膜和裝飾鍍膜等。這些裝置的高真空泵仍然以油擴散泵為主，前級泵都是以旋片泵、滑閥泵、水環泵為主。近年來國外的真空技術已從傳統的工業領域轉向半導體、平板顯示(LCD、PDP、0LED)、納米科技、精細化工等高端產業領域，真空系統已經出現更新換代的局面,有油的真空系統已被清潔無油、耐腐蝕的真空系統所代替。所以國外各種類型的干式真空泵、復合分子泵、懸浮軸承分子泵和低溫泵發展很快，市場上均有商品出售。而國內這一類產品除分子泵外尚屬空白，無法適應時代發展的需要。
姜燮昌上海真空泵廠 201709
我國真空獲得設備的現狀: 真空獲得設備是一個z*大面廣的產品，產量很大，產值不高，但它確實是一個影響到真空成套設備性能質量的必不可少的基礎產品。
真空獲得設備從粗、低真空到超高真空,其產品大致可分成14大類:
高/超高真空——分子泵、低溫泵、濺射離子泵、鈦升華泵、油擴散泵中真空——干泵、雙極選片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸汽噴射泵粗、低直空——單級旋片泵、滑閥泵、液環泵、往復式真空泵
我國的真空工業自從1934年在上海誕生第一臺往復式真空泵以來，已有70年的歷史。目前國內的真空企業中70％以上都是以生產真空泵和真空機組為主。各種往復泵、水環泵、旋片泵、滑閥泵、羅茨泵、水蒸汽噴射泵、油增壓泵、油擴散泵均已形成系列，并批量生產。雖然上述這些我們稱之為“傳統的真空獲得產品”在極限真空、抽氣速率等主要技術指標與國外同類產品相比差距不大，但其綜合性能質量差距很大。尤其是量大面廣的旋片泵、滑閥泵、羅茨泵普遍都存在振動噪聲大、噴油漏油以及故障率高、可靠性差的問題，國產的水環泵普遍也是功耗大，抽氣效率低。油擴散泵返油都比較嚴重，而且工作壓強范圍也比國外泵窄了半個到一個數量級。
目前我國真空技術的應用90％左右都是集中在傳統的工業領域，如真空冶金、真空熱處理、真空于燥、真空浸漬、真空蒸餾、濃縮以及一般的光學鍍膜和裝飾鍍膜等。這些裝置的高真空泵仍然以油擴散泵為主，前級泵都是以旋片泵、滑閥泵、水環泵為主。近年來國外的真空技術已從傳統的工業領域轉向半導體、平板顯示(LCD、PDP、0LED)、納米科技、精細化工等高端產業領域，真空系統已經出現更新換代的局面,有油的真空系統已被清潔無油、耐腐蝕的真空系統所代替。所以國外各種類型的干式真空泵、復合分子泵、懸浮軸承分子泵和低溫泵發展很快，市場上均有商品出售。而國內這一類產品除分子泵外尚屬空白，無法適應時代發展的需要。
