第九講：真空系統組成元件
一、真空閥門
1．概述在真空系統中，用來改變氣流方向，調節氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統元件稱為真空閥門。真空閥門在真空系統中的作用是：
(1)開關氣路 如圖1所示，當閥1和閥4關閉，閥2打開時，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經預真空抽氣管路；當閥2關閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真空；當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經擴散泵?？梢?，閥門在這種操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經路線。
(2)控制氣流大小，調節真空度在圖1中，調節閥1的閥蓋開啟角度，即可調節流經管路的氣流量大??；關閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調節容器內的真空度。
(3)定量充氣如圖2所示，在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體；當它轉向左邊和真空容器連通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。真空閥門的種類繁多，通常按閥門的職能、結構型式、驅動方式、材料和用途進行分類，其分類見表1。
真空閥門的型號編制方法國家專業標準作了規定，可查閱有關標準。
表1 真空閥門分類 分類方法 名 稱 根據閥門的職能 低真空閥門、高真空閥門、超高真空閥門 根據結構塑式 擋板閥、翻板閥，碟閥、隔板閥、閘閥、針閥、插板閥 根據驅動方式 手動閥、電動閥、手電兩用閥、電磁閥、氣動閥、液壓真空閥 根據材料 金屬真空閥、玻璃真空活塞(考克)、塑料閥 根據用途 截止閥、隔離閥、放氣閥、節流閥、換向閥、封閉送料閥 根據通道方式 腳閥、直通閥、雙通閥、三通閥、四通閥
1．概述在真空系統中，用來改變氣流方向，調節氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統元件稱為真空閥門。真空閥門在真空系統中的作用是：
(1)開關氣路 如圖1所示，當閥1和閥4關閉，閥2打開時，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經預真空抽氣管路；當閥2關閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真空；當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經擴散泵?？梢?，閥門在這種操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經路線。
(2)控制氣流大小，調節真空度在圖1中，調節閥1的閥蓋開啟角度，即可調節流經管路的氣流量大??；關閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調節容器內的真空度。
(3)定量充氣如圖2所示，在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體；當它轉向左邊和真空容器連通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。真空閥門的種類繁多，通常按閥門的職能、結構型式、驅動方式、材料和用途進行分類，其分類見表1。
真空閥門的型號編制方法國家專業標準作了規定，可查閱有關標準。
表1 真空閥門分類 分類方法 名 稱 根據閥門的職能 低真空閥門、高真空閥門、超高真空閥門 根據結構塑式 擋板閥、翻板閥，碟閥、隔板閥、閘閥、針閥、插板閥 根據驅動方式 手動閥、電動閥、手電兩用閥、電磁閥、氣動閥、液壓真空閥 根據材料 金屬真空閥、玻璃真空活塞(考克)、塑料閥 根據用途 截止閥、隔離閥、放氣閥、節流閥、換向閥、封閉送料閥 根據通道方式 腳閥、直通閥、雙通閥、三通閥、四通閥
