亚洲国产精品无码专区-日本阿v网站在线观看中文-色噜噜狠狠一区二区三区果冻-亚洲国产另类精品-久久精品黄aa片一区二区三区

       干式真空泵的z*新進展及應用      張振厚 （中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司，真空技術裝備國家工程實驗室 沈陽 110168）　　

       摘要：目前，我國已成為世界電子信息產品的主要生產國和產品加工基地，尤其是太陽能光伏產業，電池片產量約占q*產能的1/5，我國已經成為名副其實的世界光伏產業大國。但是，與上述產業現狀不相匹配的是，目前，我國真空獲得產品仍然停留在傳統的真空獲得手段上，大部分是有油真空系統，上述產業裝備配套的真空獲得系統幾乎全部依賴進口，嚴重影響了國家大力發展的太陽能光伏等產業的發展。 　

       本文介紹了國內羅茨干泵（機組）、渦旋干泵、超高真空閘板閥等干式真空泵及系統的z*新研發進展；分析了集成電路、太陽能光伏產業等對干式真空泵及系統的需求；列舉了干式真空泵在上述產業領域的應用；對于具有自主知識產權并大規模產業化應用的干泵，提出了新的研發思路和條件。 　z*后，文章介紹了國家對真空行業的政策支持，以及“十一五”國家重大專項：極大規模集成電路制造裝備及成套工藝——干泵與系列真空閥門產品開發與產業化項目進展情況。