無油渦旋真空泵的設計與操作
無油渦旋真空泵的設計與操作
楊廣衍 郭海洋 張鵬
摘要：本文總結了渦旋真空泵的工作原理、設計原則與經驗、制造要點和使用注意事項；介紹了渦旋真空泵的設計與加工方法；討論了渦旋盤的加工、密封的設計與選擇、間隙的確定以及泵體的動平衡等問題并闡明這些問題是影響泵性能指標的幾個重要因素；同時指出了渦旋真空泵使用的幾個注意事項。
關鍵詞：真空泵；無油渦旋技術
1.簡介 渦旋真空泵是近年來國內外備受重視并得到迅速發展的一種真空泵。渦旋真空泵具有抽氣通道內沒有油污染、泵結構簡單、運行成本低、工作壽命長、能耗低、運行平穩、噪音低等特點，得到了真空獲得行業的歡迎與市場的青睞。而其在設計、制造方面較高的技術含量，也受到國內外科技界的廣泛重視。國際上真空獲得設備的著名廠商爭先投資研發生產這種先進的真空獲得設備。到上個世紀后期，真空獲得廠商應用渦旋概念與原理制造出了對真空應用儀器設備和環境沒有污染、抽速、壽命、能耗等指標均優于普通油真空泵的單級、雙級渦旋真空泵。渦旋真空泵在需要清潔無油、廉價和長壽命真空泵的場所被大量應用，實現了全無油、運行平穩、噪音低、節省能源的清潔真空獲得技術的實用化?，F在世界上渦旋真空泵的生產廠家主要包括美國的Varian, 英國的Edwards，德國的Leybold，日本的Iwata等。國內還沒有生產廠家，市場上都是進口產品。 在這種背景下，本文從我國目前真空獲得與應用行業的實際需要出發，介紹了渦旋真空泵的工作原理、設計原則；闡述了渦旋盤的加工、密封的設計與選擇、間隙的確定以及泵體的動平衡等幾個關鍵技術問題；同時還論述了正確操作的要點，包括氣鎮的需要、抽水氣的操作和泵與被抽真空室隔離的問題?！ ?br />
2.渦旋真空泵的工作原理 渦旋真空泵的工作原理來源于Creux 1905年的一項發明專利。該發明采用一個在另一個內部，一個固定，另一個轉動的具有連續的分離、連續的閉合性能的“等螺距漸開線”，研發一種旋轉壓縮機。渦旋的形狀被定義為繞固定的軸心展開直線的軌跡。渦旋上任意一點的迪卡爾坐標值如下式所示： X= α*（cosθ+θ*sinθ） Y= α*（sinθ-θ*cosθ） 其中常數α代表軸半徑，θ代表展開角。 渦旋真空泵的渦旋盤付就是一個一端與平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成的一個渦旋型盤狀結構體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交叉組裝在一起，兩者之間由防自轉機構保證180°相位差，這樣結合組成的一對渦旋盤付構成了渦旋真空泵的基本抽氣機構。靜渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線上接觸形成對稱的幾對月牙腔，動渦旋盤在曲軸的驅動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運動，使靜渦旋盤與動渦旋盤的接觸點沿渦旋曲面移動實現吸氣、壓縮與排氣循環。例如在雙級渦旋真空泵中，有兩個方向對應的靜渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤之間的動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出，完成吸氣、壓縮、排氣的循環。曲軸每轉一轉，就有一組新的月牙腔形成，所以渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環以近1500轉/分的頻率被連續重復，對被抽氣體形成包容和強制輸送。
3.渦旋真空泵的設計與加工 渦旋概念對于真空應用真正有吸引力的特性是：
(1)結構簡單、工作可靠，零部件數量少
(2)潔凈無污染，真空抽氣通道內無油
(3)節約能源，一臺30 m3/h（8.33 l/s）的渦旋真空泵僅需要0.6-0.75kW的電機
(4)節約運行費用，渦旋真空泵無油工作，密封或冷卻都不需要油
(5)運動部件完全動平衡，振動小、噪音低渦旋的概念自1905年由Creux發明到1973年世界上第一臺渦旋模型被制造出來，其間經歷了漫長的70年。渦旋機構不能加工制造的根本原因就是缺乏精密的加工技術，不能夠實現渦旋型線之間的精確包容與嚙合，也就不能控制工作介質的泄漏,達不到渦旋真空泵得性能指標。但是渦旋機構具有的抽氣通道內沒有油污染、泵結構簡單、運行成本低、工作壽命長、能耗低、運行平穩、噪音低等特點，對于真空應用行業具有極大的吸引力和潛在的應用價值。為了將渦旋機構的概念轉化為實用的渦旋真空泵產品，近二十多年來，人們借鑒渦旋壓縮機的設計與加工方面的經驗，成功設計并生產出了主要由動、靜渦旋盤副與基座、曲軸、密封圈、防自轉機構和驅動電機等五個部分組成的渦旋真空泵。為了保證渦旋真空泵的工作性能指標、高效率和可靠性，人們開展了大量理論研究與實驗探索。到目前為止這方面的工作主要集中在：
3.1設計原則 要將渦旋機構的概念轉化為實用的渦旋真空泵產品，必須解決下述關鍵技術問題： ?。?）改進密封、減少泄漏； ?。?）減小余隙、提高壓縮比； ?。?）優化結構、提高可靠性； （4）簡化生產加工工藝、降低對制造精度的要求、降低成本。 在渦旋真空泵的設計當中要從泵的工作效率和可靠性出發，選擇泵的結構參數。s*先考慮的是泵的性能指標，如極限真空度、抽速、能耗、轉速、體積、重量以及外部尺寸等；然后根據性能指標來確定泵的內部結構參數，如渦旋線型、基圓尺寸、渦旋壁厚、渦旋壁高和曲軸徑向偏心量等；在實現了性能指標的基礎上，再進行泵的整體優化，包括結構參數優化、泵體以及密封材料選擇、軸承選擇、表面處理與驅動電機的選配等。
3.2結構設計 為了提高渦旋真空泵的工作效率，渦旋真空泵采用了雙面動渦旋盤，使動渦旋盤兩面具有完全相同的型線結構，動渦旋盤型線工作時分別與兩側的靜渦旋盤型線嚙合，這樣可以使整個渦旋泵頭運轉時受力平衡，有利于空間的有效利用并減小軸向磨損。設計時在圓漸開線的基礎上，通過給出漸開線曲線的軸向高度和徑向厚度，形成第二個渦旋，兩個渦旋交叉重疊（相差180°），一個靜止，一個旋轉，形成新月形氣腔。一系列這樣的氣腔將渦旋機構的內部與外部分離。根據配合的渦旋相對運動的方向，將這些氣腔設計成徑向內移壓縮以實現真空抽氣。在確定了渦旋真空泵的渦旋線型后，為了實現使泵能夠有效工作的目的，必須使渦旋型線在各個真空氣腔能夠良好嚙合。在渦旋型線的中心段，圓漸開線型線由于刀具的干涉形成，使高壓區渦旋壁厚變薄，加上相鄰真空腔壓差大等復雜因素的影響，導致渦旋壁受力情況惡劣、容易熱變形，還可能使排氣腔一部分高壓氣體潴留，降低渦旋真空泵的工作效率。為了解決這些問題，人們采用圓漸開線線型修正的方法，改進高壓區渦旋型線結構。這個方法，使渦旋壁的剛度和強度有所提高，并且提高了泵的可靠性。 為防止兩個動、靜渦旋盤相對運動，設計時通常在外圓周上安裝幾個偏心量相等的小曲軸來束縛動渦旋盤與靜渦旋盤，保證動渦旋盤相對于靜渦旋盤繞行卻不旋轉。
3.3泄漏與密封 渦旋真空泵的泄漏主要包括通過渦旋型線軸向嚙合間隙的徑向泄漏和通過型線徑向嚙合間隙的切向泄漏。徑向泄漏可以采用頂部密封來解決，而切向泄漏則采用控制動渦旋盤與靜渦旋盤壁之間間隙的方法來解決。渦旋真空泵的密封主要包括頂部密封和軸承密封等。頂部密封件就是幾個細長的分別安裝在動、靜渦旋盤頂部的密封條，密封條相對對面渦旋盤底面作圓周向滑動，使氣腔在渦旋盤頂部的泄漏減到z*小。由于是無油運轉，要求密封件耐磨、耐高溫、具有一定的抗蠕變性能。頂部密封件的材質、尺寸、位置對于渦旋真空泵的成功長期運轉是至關重要的。軸承密封考慮的是將真空抽氣通道與含潤滑油脂部分隔離，實現渦旋真空泵的有效清潔無油抽真空。 解決了渦旋盤的加工和渦旋頂部密封后，就要考慮泵氣腔之間的間隙與密封了。渦旋頂端的有效軸向密封足以防止氣體軸向泄漏。但是渦旋盤本身密封（氣腔之間的密封）還要求渦旋壁面之間的間隙z*小，以盡量減小相鄰氣腔之間的泄漏。小一些的間隙或者另外再加一些氣腔，對改善泵的極限真空度很有必要。雖然在實際應用當中，對于加工要求有些地方可以放松，但是真空氣腔在整個泵運動過程當中必須與大氣密封隔絕，間隙大小的確定對設計者是一個挑戰，特別是靠近曲軸的小氣腔之間的間隙。因為通過熱力學試驗、模擬與分析發現，由于動、靜渦旋盤的結構和工作環境的影響，在運轉過程中動渦旋盤的溫升與變形高于靜渦旋盤，尤其是在靠近曲軸處。從整個渦旋真空泵動、靜渦旋盤副的嚙合運轉可以發現，由于動、靜渦旋盤工作時會產生熱變形，而且變形量并不相同，動、靜渦旋盤之間z*小轉動間隙會隨工作狀況而變化。間隙過大，會導致泵的極限真空度難以達到，間隙過小，動、靜渦旋盤之間會發生摩擦甚至咬合，導致溫升急劇上升，泵的效率大大下降，或者破壞動、靜渦旋盤壁面，導致泵的咬死失效。理論研究與試驗證實，渦旋盤頂端的軸向密封對于泵的性能，尤其是泵的極限真空度，具有決定性的作用，渦旋盤本身即氣腔之間的間隙與密封對于泵的性能則起著相當重要的作用，這兩點應當引起設計者的足夠重視?！ ?br />
3.4振動與平衡 現在越來越多的渦旋真空泵應用在分析測試儀器設備當中，這些儀器對工作條件與環境要求較高。包括泵在內的儀器設備一般安放在安靜的房間內的桌面上，泵的振動不可以影響到被測數據的準確性，因此必須將振動減至z*小或者隔離振動，這一點設計者應當通過渦旋技術和設計平衡來實現?！ ?br />
3.5材料選擇與加工 渦旋盤副的材料選擇是從降低能耗、提高可加工性等方面考慮的。為了進一步減少動、靜渦旋盤的磨損、降低泵的能耗、提高可加工性，確定選擇合金鑄鋁為動、靜渦旋盤基材，經過適當的加工和表面處理后，在高速相對運動條件下能夠耐高溫、耐磨和自潤滑，保證實現泵的性能指標。 早期成功制造渦旋真空泵的z*大障礙是不能將漸開線型加工得足夠精確以使氣腔間的泄漏減至z*小，這要求開發一種高速、數字控制、能夠保證穩定公差的加工中心。自上個世紀70年代渦旋模型成功制造出來，到現在渦旋機構成功應用到真空獲得行業為止，渦旋盤的加工根據加工工藝、成本與工作效率的需要主要采用了兩種不同的方法，即展成法和數值逼近法。為了提高渦旋盤的加工精度與效率，世界上有些機械制造公司已經生產出了適用于渦旋盤展成法加工的專機。這類專機采用四軸聯動和閉環控制，以展成法為基礎，結合圓弧插補與專用夾具，一次裝卡可以完成渦旋盤的加工。這種專機自動化程度高，可以自動上、下料、自動換刀和在線自動監測。可以在幾分鐘內完成加工，加工誤差保證在10μm以內，大大提高了加工效率和加工精度、降低了加工成本。設計與加工中遇到的其他問題還包括密封材料、泵腔表面處理、軸承、抽水氣、防碎屑返流以及真空泵的一些特殊要求等等?！ ?br />
3.6裝配與調試 渦旋泵的安裝與調試主要包括泵頭的安裝：即泵頭與機座和電機的連接。在泵頭的安裝與調試階段，能夠解決的z*重要的問題就是提高泵的密封性能。密封包括渦旋頂部密封和氣腔之間的密封。目前渦旋頂部密封的形式有兩種，分別為壓差式密封和彈性式密封：壓差式密封和彈性式密封各有優點，多數渦旋真空泵采用的是彈性式密封。彈性式密封的原理很簡單，靠彈性密封條的彈性壓緊起到密封作用。在安裝與調試過程中，安裝時s*先要注意將密封條沿中心向外輕輕的按壓入頂部密封槽中，安裝前要注意各部件的清潔。各氣腔的密封是由渦旋體的側壁之間的縫隙和相對滑動速度的大小決定的，側壁的縫隙大小一般控制在0.005mm左右。初步安裝完成后，s*先要試運行一段時間，再拆開，去除試運行產生的碎屑，清理泵腔，然后重新裝上，安裝好泵頭，再連接泵頭與電機和機座，完成安裝與調試。
4.渦旋真空泵的使用
4.1渦旋真空泵與真空室的隔絕 正常操作條件下，頂部密封經過一段時間將會磨損并產生少量的微粒，而且用戶的工作過程也可能產生過量的微粒，集結在泵中。這樣如果出現斷電或者泵電源故障導致泵停止運行、或者泵沒有被正常操作時，泵內的微粒就可能被抽回到真空系統中去。在這種情況下，泵應當在斷電時立即關閉，或者在真空室與泵接口附近給泵通風，使得微粒排出排氣口，當電恢復后或者直到泵內沒有微粒時再打開。為了避免泵自身產生的或外來的微粒返回到真空系統中去，可以通過幾種方法實現這一功能：既可以是閥門，也可以是時間延遲程序控制器，這一措施必須作為渦旋真空泵的設計與工作標準來執行。實際上油封真空泵都有一個模擬防反油閥，用來防止斷電時油的返流。這一技術現在在真空獲得設備上是作為通用技術來應用的?！ ?br />
4.2自動氣鎮 如果進入渦旋真空泵入口的水蒸汽量太大，水蒸汽被壓縮時將發生相變，轉化成液體。這樣泵內積存的水會迅速污染和腐蝕泵體內部，特別是軸承。z*后導致泵內積存的水使泵達不到極限真空度指標。這個問題的解決采用氣鎮技術，在壓縮的z*后階段充入少量的干燥空氣，防止蒸汽變成液體。采用氣鎮技術可以稀釋被抽氣體中的水含量并同時將水清除出泵。現在這項技術已經成為渦旋真空泵的通用技術。
5.總結 經過一個世紀的研發，渦旋技術已經成功地發展成為清潔無油真空抽氣的有效手段。目前在我國，清潔無油真空獲得設備的生產、研制處于發展階段，筆者愿與同行共享通過渦旋真空泵的研究、開發與生產，在渦旋真空泵的設計、制造、試驗、分析與擇優方面獲得的經驗。
參考文獻：（1）楊乃恒.真空獲得設備.第二版. 北京，冶金工業出版社，2001.1（2）楊乃恒.干式真空泵的原理、特征及其應用.真空，2000，（3）：1（3）中華人民共和國國家標準.GB/T 3163-93 真空技術術語（4）L.Creux，美國專利 No.801.182（1905）
楊廣衍 郭海洋 張鵬
摘要：本文總結了渦旋真空泵的工作原理、設計原則與經驗、制造要點和使用注意事項；介紹了渦旋真空泵的設計與加工方法；討論了渦旋盤的加工、密封的設計與選擇、間隙的確定以及泵體的動平衡等問題并闡明這些問題是影響泵性能指標的幾個重要因素；同時指出了渦旋真空泵使用的幾個注意事項。
關鍵詞：真空泵；無油渦旋技術
1.簡介 渦旋真空泵是近年來國內外備受重視并得到迅速發展的一種真空泵。渦旋真空泵具有抽氣通道內沒有油污染、泵結構簡單、運行成本低、工作壽命長、能耗低、運行平穩、噪音低等特點，得到了真空獲得行業的歡迎與市場的青睞。而其在設計、制造方面較高的技術含量，也受到國內外科技界的廣泛重視。國際上真空獲得設備的著名廠商爭先投資研發生產這種先進的真空獲得設備。到上個世紀后期，真空獲得廠商應用渦旋概念與原理制造出了對真空應用儀器設備和環境沒有污染、抽速、壽命、能耗等指標均優于普通油真空泵的單級、雙級渦旋真空泵。渦旋真空泵在需要清潔無油、廉價和長壽命真空泵的場所被大量應用，實現了全無油、運行平穩、噪音低、節省能源的清潔真空獲得技術的實用化?，F在世界上渦旋真空泵的生產廠家主要包括美國的Varian, 英國的Edwards，德國的Leybold，日本的Iwata等。國內還沒有生產廠家，市場上都是進口產品。 在這種背景下，本文從我國目前真空獲得與應用行業的實際需要出發，介紹了渦旋真空泵的工作原理、設計原則；闡述了渦旋盤的加工、密封的設計與選擇、間隙的確定以及泵體的動平衡等幾個關鍵技術問題；同時還論述了正確操作的要點，包括氣鎮的需要、抽水氣的操作和泵與被抽真空室隔離的問題?！ ?br />
2.渦旋真空泵的工作原理 渦旋真空泵的工作原理來源于Creux 1905年的一項發明專利。該發明采用一個在另一個內部，一個固定，另一個轉動的具有連續的分離、連續的閉合性能的“等螺距漸開線”，研發一種旋轉壓縮機。渦旋的形狀被定義為繞固定的軸心展開直線的軌跡。渦旋上任意一點的迪卡爾坐標值如下式所示： X= α*（cosθ+θ*sinθ） Y= α*（sinθ-θ*cosθ） 其中常數α代表軸半徑，θ代表展開角。 渦旋真空泵的渦旋盤付就是一個一端與平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成的一個渦旋型盤狀結構體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交叉組裝在一起，兩者之間由防自轉機構保證180°相位差，這樣結合組成的一對渦旋盤付構成了渦旋真空泵的基本抽氣機構。靜渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線上接觸形成對稱的幾對月牙腔，動渦旋盤在曲軸的驅動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運動，使靜渦旋盤與動渦旋盤的接觸點沿渦旋曲面移動實現吸氣、壓縮與排氣循環。例如在雙級渦旋真空泵中，有兩個方向對應的靜渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤之間的動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出，完成吸氣、壓縮、排氣的循環。曲軸每轉一轉，就有一組新的月牙腔形成，所以渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環以近1500轉/分的頻率被連續重復，對被抽氣體形成包容和強制輸送。
3.渦旋真空泵的設計與加工 渦旋概念對于真空應用真正有吸引力的特性是：
(1)結構簡單、工作可靠，零部件數量少
(2)潔凈無污染，真空抽氣通道內無油
(3)節約能源，一臺30 m3/h（8.33 l/s）的渦旋真空泵僅需要0.6-0.75kW的電機
(4)節約運行費用，渦旋真空泵無油工作，密封或冷卻都不需要油
(5)運動部件完全動平衡，振動小、噪音低渦旋的概念自1905年由Creux發明到1973年世界上第一臺渦旋模型被制造出來，其間經歷了漫長的70年。渦旋機構不能加工制造的根本原因就是缺乏精密的加工技術，不能夠實現渦旋型線之間的精確包容與嚙合，也就不能控制工作介質的泄漏,達不到渦旋真空泵得性能指標。但是渦旋機構具有的抽氣通道內沒有油污染、泵結構簡單、運行成本低、工作壽命長、能耗低、運行平穩、噪音低等特點，對于真空應用行業具有極大的吸引力和潛在的應用價值。為了將渦旋機構的概念轉化為實用的渦旋真空泵產品，近二十多年來，人們借鑒渦旋壓縮機的設計與加工方面的經驗，成功設計并生產出了主要由動、靜渦旋盤副與基座、曲軸、密封圈、防自轉機構和驅動電機等五個部分組成的渦旋真空泵。為了保證渦旋真空泵的工作性能指標、高效率和可靠性，人們開展了大量理論研究與實驗探索。到目前為止這方面的工作主要集中在：
3.1設計原則 要將渦旋機構的概念轉化為實用的渦旋真空泵產品，必須解決下述關鍵技術問題： ?。?）改進密封、減少泄漏； ?。?）減小余隙、提高壓縮比； ?。?）優化結構、提高可靠性； （4）簡化生產加工工藝、降低對制造精度的要求、降低成本。 在渦旋真空泵的設計當中要從泵的工作效率和可靠性出發，選擇泵的結構參數。s*先考慮的是泵的性能指標，如極限真空度、抽速、能耗、轉速、體積、重量以及外部尺寸等；然后根據性能指標來確定泵的內部結構參數，如渦旋線型、基圓尺寸、渦旋壁厚、渦旋壁高和曲軸徑向偏心量等；在實現了性能指標的基礎上，再進行泵的整體優化，包括結構參數優化、泵體以及密封材料選擇、軸承選擇、表面處理與驅動電機的選配等。
3.2結構設計 為了提高渦旋真空泵的工作效率，渦旋真空泵采用了雙面動渦旋盤，使動渦旋盤兩面具有完全相同的型線結構，動渦旋盤型線工作時分別與兩側的靜渦旋盤型線嚙合，這樣可以使整個渦旋泵頭運轉時受力平衡，有利于空間的有效利用并減小軸向磨損。設計時在圓漸開線的基礎上，通過給出漸開線曲線的軸向高度和徑向厚度，形成第二個渦旋，兩個渦旋交叉重疊（相差180°），一個靜止，一個旋轉，形成新月形氣腔。一系列這樣的氣腔將渦旋機構的內部與外部分離。根據配合的渦旋相對運動的方向，將這些氣腔設計成徑向內移壓縮以實現真空抽氣。在確定了渦旋真空泵的渦旋線型后，為了實現使泵能夠有效工作的目的，必須使渦旋型線在各個真空氣腔能夠良好嚙合。在渦旋型線的中心段，圓漸開線型線由于刀具的干涉形成，使高壓區渦旋壁厚變薄，加上相鄰真空腔壓差大等復雜因素的影響，導致渦旋壁受力情況惡劣、容易熱變形，還可能使排氣腔一部分高壓氣體潴留，降低渦旋真空泵的工作效率。為了解決這些問題，人們采用圓漸開線線型修正的方法，改進高壓區渦旋型線結構。這個方法，使渦旋壁的剛度和強度有所提高，并且提高了泵的可靠性。 為防止兩個動、靜渦旋盤相對運動，設計時通常在外圓周上安裝幾個偏心量相等的小曲軸來束縛動渦旋盤與靜渦旋盤，保證動渦旋盤相對于靜渦旋盤繞行卻不旋轉。
3.3泄漏與密封 渦旋真空泵的泄漏主要包括通過渦旋型線軸向嚙合間隙的徑向泄漏和通過型線徑向嚙合間隙的切向泄漏。徑向泄漏可以采用頂部密封來解決，而切向泄漏則采用控制動渦旋盤與靜渦旋盤壁之間間隙的方法來解決。渦旋真空泵的密封主要包括頂部密封和軸承密封等。頂部密封件就是幾個細長的分別安裝在動、靜渦旋盤頂部的密封條，密封條相對對面渦旋盤底面作圓周向滑動，使氣腔在渦旋盤頂部的泄漏減到z*小。由于是無油運轉，要求密封件耐磨、耐高溫、具有一定的抗蠕變性能。頂部密封件的材質、尺寸、位置對于渦旋真空泵的成功長期運轉是至關重要的。軸承密封考慮的是將真空抽氣通道與含潤滑油脂部分隔離，實現渦旋真空泵的有效清潔無油抽真空。 解決了渦旋盤的加工和渦旋頂部密封后，就要考慮泵氣腔之間的間隙與密封了。渦旋頂端的有效軸向密封足以防止氣體軸向泄漏。但是渦旋盤本身密封（氣腔之間的密封）還要求渦旋壁面之間的間隙z*小，以盡量減小相鄰氣腔之間的泄漏。小一些的間隙或者另外再加一些氣腔，對改善泵的極限真空度很有必要。雖然在實際應用當中，對于加工要求有些地方可以放松，但是真空氣腔在整個泵運動過程當中必須與大氣密封隔絕，間隙大小的確定對設計者是一個挑戰，特別是靠近曲軸的小氣腔之間的間隙。因為通過熱力學試驗、模擬與分析發現，由于動、靜渦旋盤的結構和工作環境的影響，在運轉過程中動渦旋盤的溫升與變形高于靜渦旋盤，尤其是在靠近曲軸處。從整個渦旋真空泵動、靜渦旋盤副的嚙合運轉可以發現，由于動、靜渦旋盤工作時會產生熱變形，而且變形量并不相同，動、靜渦旋盤之間z*小轉動間隙會隨工作狀況而變化。間隙過大，會導致泵的極限真空度難以達到，間隙過小，動、靜渦旋盤之間會發生摩擦甚至咬合，導致溫升急劇上升，泵的效率大大下降，或者破壞動、靜渦旋盤壁面，導致泵的咬死失效。理論研究與試驗證實，渦旋盤頂端的軸向密封對于泵的性能，尤其是泵的極限真空度，具有決定性的作用，渦旋盤本身即氣腔之間的間隙與密封對于泵的性能則起著相當重要的作用，這兩點應當引起設計者的足夠重視?！ ?br />
3.4振動與平衡 現在越來越多的渦旋真空泵應用在分析測試儀器設備當中，這些儀器對工作條件與環境要求較高。包括泵在內的儀器設備一般安放在安靜的房間內的桌面上，泵的振動不可以影響到被測數據的準確性，因此必須將振動減至z*小或者隔離振動，這一點設計者應當通過渦旋技術和設計平衡來實現?！ ?br />
3.5材料選擇與加工 渦旋盤副的材料選擇是從降低能耗、提高可加工性等方面考慮的。為了進一步減少動、靜渦旋盤的磨損、降低泵的能耗、提高可加工性，確定選擇合金鑄鋁為動、靜渦旋盤基材，經過適當的加工和表面處理后，在高速相對運動條件下能夠耐高溫、耐磨和自潤滑，保證實現泵的性能指標。 早期成功制造渦旋真空泵的z*大障礙是不能將漸開線型加工得足夠精確以使氣腔間的泄漏減至z*小，這要求開發一種高速、數字控制、能夠保證穩定公差的加工中心。自上個世紀70年代渦旋模型成功制造出來，到現在渦旋機構成功應用到真空獲得行業為止，渦旋盤的加工根據加工工藝、成本與工作效率的需要主要采用了兩種不同的方法，即展成法和數值逼近法。為了提高渦旋盤的加工精度與效率，世界上有些機械制造公司已經生產出了適用于渦旋盤展成法加工的專機。這類專機采用四軸聯動和閉環控制，以展成法為基礎，結合圓弧插補與專用夾具，一次裝卡可以完成渦旋盤的加工。這種專機自動化程度高，可以自動上、下料、自動換刀和在線自動監測。可以在幾分鐘內完成加工，加工誤差保證在10μm以內，大大提高了加工效率和加工精度、降低了加工成本。設計與加工中遇到的其他問題還包括密封材料、泵腔表面處理、軸承、抽水氣、防碎屑返流以及真空泵的一些特殊要求等等?！ ?br />
3.6裝配與調試 渦旋泵的安裝與調試主要包括泵頭的安裝：即泵頭與機座和電機的連接。在泵頭的安裝與調試階段，能夠解決的z*重要的問題就是提高泵的密封性能。密封包括渦旋頂部密封和氣腔之間的密封。目前渦旋頂部密封的形式有兩種，分別為壓差式密封和彈性式密封：壓差式密封和彈性式密封各有優點，多數渦旋真空泵采用的是彈性式密封。彈性式密封的原理很簡單，靠彈性密封條的彈性壓緊起到密封作用。在安裝與調試過程中，安裝時s*先要注意將密封條沿中心向外輕輕的按壓入頂部密封槽中，安裝前要注意各部件的清潔。各氣腔的密封是由渦旋體的側壁之間的縫隙和相對滑動速度的大小決定的，側壁的縫隙大小一般控制在0.005mm左右。初步安裝完成后，s*先要試運行一段時間，再拆開，去除試運行產生的碎屑，清理泵腔，然后重新裝上，安裝好泵頭，再連接泵頭與電機和機座，完成安裝與調試。
4.渦旋真空泵的使用
4.1渦旋真空泵與真空室的隔絕 正常操作條件下，頂部密封經過一段時間將會磨損并產生少量的微粒，而且用戶的工作過程也可能產生過量的微粒，集結在泵中。這樣如果出現斷電或者泵電源故障導致泵停止運行、或者泵沒有被正常操作時，泵內的微粒就可能被抽回到真空系統中去。在這種情況下，泵應當在斷電時立即關閉，或者在真空室與泵接口附近給泵通風，使得微粒排出排氣口，當電恢復后或者直到泵內沒有微粒時再打開。為了避免泵自身產生的或外來的微粒返回到真空系統中去，可以通過幾種方法實現這一功能：既可以是閥門，也可以是時間延遲程序控制器，這一措施必須作為渦旋真空泵的設計與工作標準來執行。實際上油封真空泵都有一個模擬防反油閥，用來防止斷電時油的返流。這一技術現在在真空獲得設備上是作為通用技術來應用的?！ ?br />
4.2自動氣鎮 如果進入渦旋真空泵入口的水蒸汽量太大，水蒸汽被壓縮時將發生相變，轉化成液體。這樣泵內積存的水會迅速污染和腐蝕泵體內部，特別是軸承。z*后導致泵內積存的水使泵達不到極限真空度指標。這個問題的解決采用氣鎮技術，在壓縮的z*后階段充入少量的干燥空氣，防止蒸汽變成液體。采用氣鎮技術可以稀釋被抽氣體中的水含量并同時將水清除出泵。現在這項技術已經成為渦旋真空泵的通用技術。
5.總結 經過一個世紀的研發，渦旋技術已經成功地發展成為清潔無油真空抽氣的有效手段。目前在我國，清潔無油真空獲得設備的生產、研制處于發展階段，筆者愿與同行共享通過渦旋真空泵的研究、開發與生產，在渦旋真空泵的設計、制造、試驗、分析與擇優方面獲得的經驗。
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