選用真空泵的注意事項
選用真空泵的注意事項
沈陽紀(jì)維應(yīng)用技術(shù)有限公司 寧憲寧
1.真空泵選擇的原則 在設(shè)計真空系統(tǒng)時，s*先要正確選擇真空泵的類型，確定真空泵的大小。
2.真空泵類型的選擇 在選擇真空泵的類型時，需要考慮的包括被抽真空室要達(dá)到的極限壓強和工作壓強，被抽氣體的種類，和真空泵采購的初始投資與運行中的日常維護費用。
3.真空泵工作壓強范圍的選擇 s*先要根據(jù)被抽真空室要達(dá)到的極限壓強和工作壓強，正確選擇真空泵的工作壓強范圍。 從設(shè)計與制造者的角度，每種真空泵都有一定的工作壓強范圍，如：無油渦旋真空泵的工作壓強范圍為大氣～1Pa。在這樣寬的壓強范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為10E4～10Pa。因而，無油渦旋真空泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在大氣下或者1Pa下長期工作。 從用戶的角度看，真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足被抽真空室的極限真空及工作壓強要求，通常選擇真空泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。例如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。
4.真空泵大小的選擇 選擇真空泵的大小，就是確定真空泵的抽氣能力。真空泵大小的選擇主要根據(jù)兩點： s*先根據(jù)被抽真空室工作時所需要的工作壓強和室內(nèi)的z*大排氣流量來決定。每種泵都有其極限壓強和z*佳抽速壓強范圍，真空室內(nèi)壓強要在泵的z*佳抽速壓強范圍內(nèi)。 其次還要根據(jù)真空室的大小和抽氣時間要求來選擇。 另外真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。但大部分工作壓強是單獨一種真空泵所不能達(dá)到的。有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)抽真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵。所以需要正確地將不同的真空泵組合成為真空機組，以滿足工作要求。 例如半導(dǎo)體行業(yè)真空室體積較大，要求真空室內(nèi)工作環(huán)境清潔無油，抽氣時間盡量短、以提高工作效率。這時抽速為15～60立方米/小時（4～16升/秒）的無油渦旋真空泵，可以與羅茨泵組成無油真空機組，達(dá)到接近600立方米/小時（150升/秒）的抽速，實現(xiàn)大抽速、清潔無油的目標(biāo)，就能夠很好的滿足半導(dǎo)體行業(yè)鍍膜生產(chǎn)線的要求。
5.正確選擇適合被抽氣體種類的真空泵 由于真空泵有選擇性抽氣，因而有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。比如分子泵需要前級粗抽泵啟動，與無油渦旋真空泵組合起來，便會使被抽真空室得到良好的真空度和清潔無油的真空環(huán)境。 如果被抽真空室要求清潔無油時，應(yīng)該選各種無油真空泵，如：無油渦旋真空泵、螺桿泵、水環(huán)泵、濺射離子泵、低溫泵以及分子篩吸附泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等。 另外還應(yīng)當(dāng)考慮被抽氣體的種類，氣體中有無可凝蒸氣、有無顆粒灰塵、有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。
6.考慮真空泵對周圍環(huán)境的影響 如果工作場所周圍環(huán)境不允許有污染，如潔凈室等，就要選擇無油真空泵，如無油渦旋真空泵等。
7.考慮真空泵工作時產(chǎn)生的噪音與振動對工藝過程及環(huán)境的影響 若工藝過程不允許噪音與振動，如分析測試儀器，就應(yīng)選擇噪音低、無振動的真空泵或者采取隔離罩、軟連接等減噪、防振措施。
8.真空泵采購的初始投資與運行中的日常維護費用 要從整個設(shè)備全局的角度來選擇真空泵，綜合平衡價格、運轉(zhuǎn)及維護費用因素，考慮初始投資與日常維護費用的平衡。如無油渦旋真空泵雖然采購?fù)顿Y較高，但是具有運行中不需要油潤滑、也不需要冷卻水，具有省卻了冷卻水系統(tǒng)、不用更換潤滑油、不會對環(huán)境造成油污染、運動部件互相不接觸、能耗低、節(jié)省能源的優(yōu)點，z*重要的是提供了清潔無油的真空環(huán)境，提升了設(shè)備檔次，順應(yīng)了濕法真空工藝向干法真空工藝轉(zhuǎn)變的發(fā)展趨勢，是很好的選擇。
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1.真空泵選擇的原則 在設(shè)計真空系統(tǒng)時，s*先要正確選擇真空泵的類型，確定真空泵的大小。
2.真空泵類型的選擇 在選擇真空泵的類型時，需要考慮的包括被抽真空室要達(dá)到的極限壓強和工作壓強，被抽氣體的種類，和真空泵采購的初始投資與運行中的日常維護費用。
3.真空泵工作壓強范圍的選擇 s*先要根據(jù)被抽真空室要達(dá)到的極限壓強和工作壓強，正確選擇真空泵的工作壓強范圍。 從設(shè)計與制造者的角度，每種真空泵都有一定的工作壓強范圍，如：無油渦旋真空泵的工作壓強范圍為大氣～1Pa。在這樣寬的壓強范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為10E4～10Pa。因而，無油渦旋真空泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在大氣下或者1Pa下長期工作。 從用戶的角度看，真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足被抽真空室的極限真空及工作壓強要求，通常選擇真空泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。例如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。
4.真空泵大小的選擇 選擇真空泵的大小，就是確定真空泵的抽氣能力。真空泵大小的選擇主要根據(jù)兩點： s*先根據(jù)被抽真空室工作時所需要的工作壓強和室內(nèi)的z*大排氣流量來決定。每種泵都有其極限壓強和z*佳抽速壓強范圍，真空室內(nèi)壓強要在泵的z*佳抽速壓強范圍內(nèi)。 其次還要根據(jù)真空室的大小和抽氣時間要求來選擇。 另外真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。但大部分工作壓強是單獨一種真空泵所不能達(dá)到的。有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)抽真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵。所以需要正確地將不同的真空泵組合成為真空機組，以滿足工作要求。 例如半導(dǎo)體行業(yè)真空室體積較大，要求真空室內(nèi)工作環(huán)境清潔無油，抽氣時間盡量短、以提高工作效率。這時抽速為15～60立方米/小時（4～16升/秒）的無油渦旋真空泵，可以與羅茨泵組成無油真空機組，達(dá)到接近600立方米/小時（150升/秒）的抽速，實現(xiàn)大抽速、清潔無油的目標(biāo)，就能夠很好的滿足半導(dǎo)體行業(yè)鍍膜生產(chǎn)線的要求。
5.正確選擇適合被抽氣體種類的真空泵 由于真空泵有選擇性抽氣，因而有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。比如分子泵需要前級粗抽泵啟動，與無油渦旋真空泵組合起來，便會使被抽真空室得到良好的真空度和清潔無油的真空環(huán)境。 如果被抽真空室要求清潔無油時，應(yīng)該選各種無油真空泵，如：無油渦旋真空泵、螺桿泵、水環(huán)泵、濺射離子泵、低溫泵以及分子篩吸附泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等。 另外還應(yīng)當(dāng)考慮被抽氣體的種類，氣體中有無可凝蒸氣、有無顆粒灰塵、有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。
6.考慮真空泵對周圍環(huán)境的影響 如果工作場所周圍環(huán)境不允許有污染，如潔凈室等，就要選擇無油真空泵，如無油渦旋真空泵等。
7.考慮真空泵工作時產(chǎn)生的噪音與振動對工藝過程及環(huán)境的影響 若工藝過程不允許噪音與振動，如分析測試儀器，就應(yīng)選擇噪音低、無振動的真空泵或者采取隔離罩、軟連接等減噪、防振措施。
8.真空泵采購的初始投資與運行中的日常維護費用 要從整個設(shè)備全局的角度來選擇真空泵，綜合平衡價格、運轉(zhuǎn)及維護費用因素，考慮初始投資與日常維護費用的平衡。如無油渦旋真空泵雖然采購?fù)顿Y較高，但是具有運行中不需要油潤滑、也不需要冷卻水，具有省卻了冷卻水系統(tǒng)、不用更換潤滑油、不會對環(huán)境造成油污染、運動部件互相不接觸、能耗低、節(jié)省能源的優(yōu)點，z*重要的是提供了清潔無油的真空環(huán)境，提升了設(shè)備檔次，順應(yīng)了濕法真空工藝向干法真空工藝轉(zhuǎn)變的發(fā)展趨勢，是很好的選擇。
