真空工藝對環境的要求
真空工藝對環境的要求
常規真空工藝對環境的要求
所謂常規真空工藝系指沒有特殊要求的真空工藝過程，這類真空裝置（設備）對真空衛生的要求：
（1）凡是處于真空中的真空設備零件，都要求無積存的污染源，表面無塵埃，無鐵屑、無銹蝕；
（2）真空設備的真空室表面要光滑、無松軟組織和氣孔、無內焊縫等影響真空的缺陷；
（3）高真空設備中，真空室內的運動部件不得用機油作潤滑劑，要用飽和蒸氣壓低的擴散泵油、硅油作潤滑劑；法蘭、觀察窗的密封部件要涂以高真空油脂；
（4）真空設備一般應在溫度為15～30℃，相對濕度不高于70%的清潔空氣流通的環境中工作，冷卻水進水溫度不高于25 ℃。電真空工藝對環境的要求電真空結構材料除具有良好的機械性能和加工性能外，還要滿足其他性能的要求，即容易除氣、低的飽和蒸氣壓、一定的化學穩定性、一定的純度和清潔度、合適的輻射能力等。所以電真空工藝具有特殊性，對清潔處理要求是極為嚴格的，應z*大限度清除或減少零件的污染。真空鍍膜工藝對環境的要求 真空鍍膜工藝襯底（基片）表面的清潔處理很重要，基片進入鍍膜室前均應進行認真的鍍前清潔處理，達到工件去油、去污和脫水的目的。基片表面污染來自零件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、拋光膏、油脂、汗漬等物；零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜；零件表面吸收和吸附的氣體。這些污物基本上均可采用去油或化學清洗方法將其去掉。
常規真空工藝對環境的要求
所謂常規真空工藝系指沒有特殊要求的真空工藝過程，這類真空裝置（設備）對真空衛生的要求：
（1）凡是處于真空中的真空設備零件，都要求無積存的污染源，表面無塵埃，無鐵屑、無銹蝕；
（2）真空設備的真空室表面要光滑、無松軟組織和氣孔、無內焊縫等影響真空的缺陷；
（3）高真空設備中，真空室內的運動部件不得用機油作潤滑劑，要用飽和蒸氣壓低的擴散泵油、硅油作潤滑劑；法蘭、觀察窗的密封部件要涂以高真空油脂；
（4）真空設備一般應在溫度為15～30℃，相對濕度不高于70%的清潔空氣流通的環境中工作，冷卻水進水溫度不高于25 ℃。電真空工藝對環境的要求電真空結構材料除具有良好的機械性能和加工性能外，還要滿足其他性能的要求，即容易除氣、低的飽和蒸氣壓、一定的化學穩定性、一定的純度和清潔度、合適的輻射能力等。所以電真空工藝具有特殊性，對清潔處理要求是極為嚴格的，應z*大限度清除或減少零件的污染。真空鍍膜工藝對環境的要求 真空鍍膜工藝襯底（基片）表面的清潔處理很重要，基片進入鍍膜室前均應進行認真的鍍前清潔處理，達到工件去油、去污和脫水的目的。基片表面污染來自零件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、拋光膏、油脂、汗漬等物；零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜；零件表面吸收和吸附的氣體。這些污物基本上均可采用去油或化學清洗方法將其去掉。
