真空元件為什么要作清潔處理
真空元件為什么要作清潔處理 真空衛(wèi)生系指真空裝置在裝成整機(jī)以前或使用過程中進(jìn)行清潔處理去掉污染物而言。所謂污染物是不屬于所用材料組份的物質(zhì)，如機(jī)加工中的機(jī)油、焊藥、氧化皮等均屬于鈣染物。
真空裝置由許許多多的零件組成，它們都是經(jīng)過各種機(jī)械加工完成的，如車、銑、飽、磨、鏜、焊接等。這樣使零件表面不可避免的會(huì)沾上許多機(jī)加工油脂、汗痕、拋光膏，焊劑等。此外，加工中的焊接夾雜、金屬屑、油垢等也會(huì)留在孔隙凹坑之處。這些污染物在真空中易揮發(fā)，影響真空設(shè)備的極限真空。此外，污染物在大氣壓下還吸附了大量氣體，在真空環(huán)境中，也要釋放出來，構(gòu)成了限制真空設(shè)備極限真空的因素。為此，零件組裝前必須除掉污染物。
零件所用的各種板材、管材都要受到軋制、機(jī)械加工、壓延工序、焊接溫度的影響，使零件表面形成氧化層或氮化層。這種表商層呈疏松狀態(tài)，并有龜裂。況且多數(shù)材料都不同程度地存在著雜質(zhì)，以及其它缺陷，這就更容易使污染物藏在其中。再加之由于表面疏松而吸附的氣體，在真空中會(huì)慢慢地釋放出來。即使清潔的鋼表面，在空氣中停留十分鐘之后，表面也會(huì)形成2nm厚的氧化層。另一方面，由于真實(shí)表面比幾何表面大一千倍而吸附的大z*的水蒸氣，亦會(huì)成為污染物。
真空設(shè)備使用過程中，零件還會(huì)受到污染。這種污染同使用條件及真空泵有關(guān)。如真空干燥系統(tǒng)，經(jīng)常使用后會(huì)受到蒸發(fā)出來的物質(zhì)污染。又如真空鍍膜機(jī)的內(nèi)壁會(huì)被蒸鍍材料污染。此外，真空中電子槍的燈絲，由于高溫蒸發(fā)會(huì)使其附近形成金屬膜。規(guī)管燈絲在高溫下蒸發(fā)，使陶瓷絕緣子上形成薄膜，破壞絕緣強(qiáng)度，影響測量的準(zhǔn)確性。此外還會(huì)發(fā)生短路、打火等觀象。至于油封機(jī)械泵和油擴(kuò)散泵更是污染源，設(shè)備長期工作后會(huì)使設(shè)備內(nèi)部形成明顯的油膜。這些污染同樣影響設(shè)備性能，應(yīng)注意隨時(shí)清除。
超高真空系統(tǒng)中，清潔處理更為重要，良好的清潔處理工藝，可使材料放氣率低幾個(gè)數(shù)量級(jí)，如不銹鋼長期暴露于大氣后，不進(jìn)行任何處理，一小時(shí)后的出氣率為2.7×10-1帕•升／秒•米2；除油后抽氣4小時(shí)，可降到1.3×10-8帕．升／秒•米2；清洗后，在250℃下烘烤15小時(shí)，出氣率進(jìn)一步降低到1.3×10-6帕•升／秒•米2。好的清潔處理工藝，可以提高設(shè)備的極限真空。若清潔處理得不好，就達(dá)不到超高真空。
真空裝置由許許多多的零件組成，它們都是經(jīng)過各種機(jī)械加工完成的，如車、銑、飽、磨、鏜、焊接等。這樣使零件表面不可避免的會(huì)沾上許多機(jī)加工油脂、汗痕、拋光膏，焊劑等。此外，加工中的焊接夾雜、金屬屑、油垢等也會(huì)留在孔隙凹坑之處。這些污染物在真空中易揮發(fā)，影響真空設(shè)備的極限真空。此外，污染物在大氣壓下還吸附了大量氣體，在真空環(huán)境中，也要釋放出來，構(gòu)成了限制真空設(shè)備極限真空的因素。為此，零件組裝前必須除掉污染物。
零件所用的各種板材、管材都要受到軋制、機(jī)械加工、壓延工序、焊接溫度的影響，使零件表面形成氧化層或氮化層。這種表商層呈疏松狀態(tài)，并有龜裂。況且多數(shù)材料都不同程度地存在著雜質(zhì)，以及其它缺陷，這就更容易使污染物藏在其中。再加之由于表面疏松而吸附的氣體，在真空中會(huì)慢慢地釋放出來。即使清潔的鋼表面，在空氣中停留十分鐘之后，表面也會(huì)形成2nm厚的氧化層。另一方面，由于真實(shí)表面比幾何表面大一千倍而吸附的大z*的水蒸氣，亦會(huì)成為污染物。
真空設(shè)備使用過程中，零件還會(huì)受到污染。這種污染同使用條件及真空泵有關(guān)。如真空干燥系統(tǒng)，經(jīng)常使用后會(huì)受到蒸發(fā)出來的物質(zhì)污染。又如真空鍍膜機(jī)的內(nèi)壁會(huì)被蒸鍍材料污染。此外，真空中電子槍的燈絲，由于高溫蒸發(fā)會(huì)使其附近形成金屬膜。規(guī)管燈絲在高溫下蒸發(fā)，使陶瓷絕緣子上形成薄膜，破壞絕緣強(qiáng)度，影響測量的準(zhǔn)確性。此外還會(huì)發(fā)生短路、打火等觀象。至于油封機(jī)械泵和油擴(kuò)散泵更是污染源，設(shè)備長期工作后會(huì)使設(shè)備內(nèi)部形成明顯的油膜。這些污染同樣影響設(shè)備性能，應(yīng)注意隨時(shí)清除。
超高真空系統(tǒng)中，清潔處理更為重要，良好的清潔處理工藝，可使材料放氣率低幾個(gè)數(shù)量級(jí)，如不銹鋼長期暴露于大氣后，不進(jìn)行任何處理，一小時(shí)后的出氣率為2.7×10-1帕•升／秒•米2；除油后抽氣4小時(shí)，可降到1.3×10-8帕．升／秒•米2；清洗后，在250℃下烘烤15小時(shí)，出氣率進(jìn)一步降低到1.3×10-6帕•升／秒•米2。好的清潔處理工藝，可以提高設(shè)備的極限真空。若清潔處理得不好，就達(dá)不到超高真空。
