干式螺桿真空泵的特點
真空泵為真空系統的關鍵零部件，尤其是用于潔凈及高真空制程工藝中，真空泵更是決定制程品質的關鍵因素。然而不論是真空設備商或是真空設備使用者，在選用干式真空泵時都面臨售價過高及維修保養昂貴的困境。
真空泵廣泛運用于真空冶煉、真空熱處理、真空鍍膜、電氣產品、化工制藥、真空模擬、電光源、硅晶體培植、除水除氣、塑料制品、真空浸漬、真空(冷凍)干燥、制冷裝置、食品加工及包裝、汽車制造等行業。
干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果，終極壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。
泵浦溫度控制精準
干式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計，同時改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準地控制泵浦內部溫度，減少沉積物的產生，增加真空泵浦的壽命。
密封馬達安全性高
PS系列真空泵浦亦全面采用專利設計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外，也可完全避免制程氣體外漏的風險。
微電腦控制保護周全
PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。
