滑閥式真空泵的工作原理其實(shí)與片泵相似,當(dāng)兩者泵結(jié)構(gòu)不同的時(shí)候。
滑閥式真空泵的工作原理是主要利用滑閥機(jī)構(gòu)來(lái)改變西氣腔容積,因而稱為華發(fā)泵。滑閥式真空泵雖然是一種老泵,但與旋片泵等比較,它具有允許工作壓力高(10 4 pa)、抽氣量大、能在惡劣環(huán)境下連續(xù)工作,經(jīng)久耐用等突出特點(diǎn),所以在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用。
目前真空行業(yè)中廣泛使用的油封式真空泵大多是中、小型的選片泵和中、大型的滑閥式真空泵。旋片泵的工作原理是在較臟的工作條件下,旋片泵在轉(zhuǎn)子槽中卡住。盡管滑閥式真空泵對(duì)這一缺點(diǎn)有一定程度的克服,但由于滑閥的質(zhì)心相對(duì)回轉(zhuǎn)中心的距離不是定值,雖然結(jié)構(gòu)上采取了一些平衡措施,但尚不能達(dá)到完全平衡,故振動(dòng)難以完成消除。尤其泵的容量越大,振動(dòng)亦更大。同時(shí)上述兩種泵,特別是滑閥泵與其排氣量相比外形尺寸顯得較大。