(1)往復真空泵、旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵是靠活塞往復運動或旋轉將氣體吸入、壓縮并排出。它們的優點是新投入使用的泵真空度相對比較高,但是活塞是運轉部件,因此活塞的磨損是避免不了的,隨著檢修次數的增加工作真空度將不斷下降,直至滿足不了生產的要求。此類泵工作噪音大,耗油量大,故障率高也是其致命的缺點,一般都需要開一臺備用一臺,這無形中增加了設備投資與運行費用。另外如果用此類泵抽吸水蒸汽等可凝性氣體,將使潤滑油乳化,因此只能應用在抽吸不凝性(空氣類)氣體,也不能抽吸帶有顆粒狀的介質,這也就限制了其適用范圍。
(2)水環真空泵的工作原理是靠裝在泵殼內的帶有多葉片的偏心轉子旋轉,把水拋向泵殼形成與泵殼同心的水環,水環與轉子葉片形成了容積周期變化從而將氣體吸入、壓縮并排出。它的優點是低真空時抽氣量大、可以直接抽吸水蒸汽等可凝性氣體。它的缺點是真空度低;不能抽吸帶有顆粒狀的介質;轉子高速旋轉不易做防腐處理,因此不能抽吸具有腐蝕性的介質。
以上就是變容積式真空泵的工作原理和優缺點。