激光束蒸發鍍膜技術是一種脈沖激光技術,經過聚集后形成高密度激光射到鍍材上產生高溫使鍍材蒸發。激光束蒸發鍍膜裝置是把發射激光的激光器放在
真空室外,激光束直接照射鍍材,不接觸坩堝,從而避免了使鍍材蒸氣受到污染而降低薄膜材料純度。對于激光束蒸發的原理,我們可以簡單的了解一下,以CO
2激光器為例,當激光器發射出高能量的激光后,經過聚集透鏡和散焦透鏡,使激光集中成束,射進真空室內,為了調節激光束能準確射到鍍材上,利用一個帶爐板的反射鏡,調節好角度,當激光束照射到鍍材時,其功率密度已經達到10
6W/CM
2,使鍍材產生強烈的晶格振動,迅速升溫,所產生的高溫可以使任何高熔點的鍍材汽化蒸發。激光束蒸發鍍膜技術是一種閃鍍蒸發,以瞬間的高溫蒸發鍍材,對于化合物和合金的鍍材都可以進行蒸發,因為高溫是一瞬間產生后鍍材就蒸發了,避免了化合物因加熱而產生某些反應而變質,對于合金,不同熔點的金屬如果是慢慢加熱,低熔點的先蒸發,高熔點的后蒸發,如此就會產生分餾現象,但若是閃鍍蒸發就顯示不出時間差了。