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靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置具有操作簡(jiǎn)單、測(cè)量不確定度小的優(yōu)點(diǎn)，經(jīng)過(guò)百年的探索和研究，包括我國(guó)在內(nèi)的多個(gè)國(guó)家已將該標(biāo)準(zhǔn)作為真空計(jì)量基準(zhǔn)器具。近年來(lái)，隨著我國(guó)在航天、高能物理、核聚變、表面科學(xué)、微電子器件等領(lǐng)域發(fā)展迅速，對(duì)超高真空精確校準(zhǔn)提...