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z*初的真空計(jì)是由托里拆利制作的一端封閉充滿(mǎn)水銀的細(xì)長(zhǎng)玻璃管發(fā)明的。根據(jù)測(cè)量的真空度范圍和使用環(huán)境，現(xiàn)在z*常使用的真空計(jì)有電容式隔膜真空計(jì)、熱電偶真空計(jì)、熱陰極電離真空計(jì)和冷陰極電離真空計(jì)。
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