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1、根據設備的工藝要求，確定真空設備的總的z*大允許漏率，并依據這一總漏率確定各組成部件的z*大允許漏率。 2、根據設備的z*大允許漏率等指標，在設計階段就初步確定將要采用的檢漏方法...
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