在真空技術中，材料的要求各不相同。根據(jù)應用、環(huán)境條件以及要實現(xiàn)的真空度，必須對材料進行測試以滿足相關的要求。
下面列出了必須考慮的幾個重要條件：
■ 高氣密性：
每種材料基本上都是氣體可滲透的。氣體滲透的整個過程被稱為滲透。滲透的快慢取決于材料、氣體類型以及環(huán)境條件—特別是溫度。使用彈性體密封件的情況下，其滲透性必須予以考慮。示例：對于 DN 500 ISO-K 的 FKM（氟橡膠）密封件，在濕度為 60% 的空氣中，滲透率大約為 4· 10 -7 Pa · m 3 /s。因此，帶有 FKM 密封件的真空系統(tǒng)工作壓力很少會超過 1 · 10 -8 hPa。
■ 在整個操作溫度范圍內(nèi)要保證足夠的機械強度：
除了要保證其結(jié)構(gòu)的完整性，還必須確保功能表面的變形不會對其功能特性造成影響。示例：真空室部件上的大氣壓力大約為 10 N/cm 2 。在面積為 1 m 2 的表面上，將產(chǎn)生100,000 N 的壓力。
■ 低固有蒸氣壓、高熔沸點：
固有蒸氣壓太高會限制z*終的真空壓力。除了油和潤滑脂的真空兼容性，在合金中，必須考慮金屬固有的蒸氣壓或其在合金中的分壓。示例：對于黃銅制品，鋅在高真空中的分壓被限制在z*高允許溫度大約為 100°C。
■ 清潔表面、低雜質(zhì)氣體含量、易脫氣：
清潔表面是先決條件。但是，任何暴露于環(huán)境空氣中的表面都會覆蓋上一層吸附層。以化學或物理形式將分子吸附在材料表面或材料間隙內(nèi)的氣體分子，一旦解吸（當在它們從表面分離時）也是氣體來源的一部分。要實現(xiàn)高的極限壓力，必須使用具有低解吸率的材料。示例：單層吸附氣體約等于 4 · 10 -2 Pa · m 3 /m 2 的氣量。設想一根直徑為50 cm，長度為 100 cm 的管子，兩端封閉（表面積大約為2 m 2 ，體積大約為 200 l），單層釋放導致壓力上升大約0.4 Pa 或 4 · 10 -3 hPa。這并沒有考慮管道的表面積總是大于其幾何面積這一實際情況。
■ 抗熱沖擊性能好、膨脹率適應性好：
示例：不同熱膨脹將鋁密封件與不銹鋼法蘭組合的z*高允許溫度限制在 150°C 左右。經(jīng)常在過高溫度之后，在冷卻過程中發(fā)生密封效果惡化的情況。
■ 耐腐蝕性、耐化學性：
示例：很多真空鍍膜過程需要化學性質(zhì)活潑的過程氣體。因此，有必要考慮所使用的液體是否會影響到部件或密封件。尤其是薄壁部件，如金屬波紋管，容易受到腐蝕。如有必要，應該在測試中確定其使用壽命。對于特殊的應用，可能可能還會對材料有更多要求。
一般的規(guī)則是：所需工作壓力越低，對材料的要求越高，可使用的材料選擇性越小。因此，特別在HV（超高真空）技術中，材料的選擇非常重要。
