真空設備專業生產廠家不乏檢測儀表和專業技術人員，并有相當豐富的維修經驗，因此，真空設備的檢測和維修應該是沒有問題的。而作為用戶，除非技術力量雄厚，但許多用戶一般不具備或不完全具備條件來進行真空設備的維修。
問：維修真空設備的要點是什么?
答：維修真空設備的要點是判斷故障。真空抽不上去，原因可能有幾個，一定要搞清楚是什么原因，是真空機組的抽氣能力不夠還是漏率高；或者兩者兼而有之。這時，應該耐心觀察和記錄，從中找出故障。比如，抽空時間相同，而真空度偏低，這時候，關閉高壓閥，如真空計指針很快下降，多數情況是真空室漏了，這時候應先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數情況是真空機組抽氣能力不夠，這時可將重點放到查找真空泵及閥門的問題上，看是哪里出現了泄漏，或是擴散泵油被污染了，氧化了等；或是前級管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等故障。
問：用戶z*頭痛的是什么?
答：用戶z*頭疼的是檢測漏率問題。漏分內漏和外漏；外漏比較好檢測，內漏則難辦些。較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發現火苗向漏點偏移，則可找到漏點。我們用自制的檢漏儀可以在旋片泵工作范圍內進行檢漏，現在已經生產ZHC．1型儀表。該檢漏儀表用ZJ．2電離規管，規管接在旋片泵吸氣口來檢測。若是擴散泵機組的話，可以檢測到l0Pa級的漏率。
問：小漏和微漏怎么查?
答：小漏和微漏就比較難查了，大家常用的方法是利用在高真空狀態下電離管對某些氣體反應敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩定了，也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，再噴射。z*好是反復幾次，確認漏點。ZHC一1儀表也可以用上述方法來檢漏，不同的是ZHC．1儀表能在旋片泵工作范圍內進行檢漏，而且不怕暴露于大氣中。
問： 內漏和外漏怎樣查?
答：內漏多發生在有水冷套的設備上，查外漏沒有發現疑點。但是卻有以下現象；機械泵的抽速明顯偏低，真空計示值低，機械泵油很快乳化，真空室內的鐵基零部件明顯銹蝕，具備以上條件基本可以確定有內漏。有一臺25kg中頻爐，2X一70旋片泵和150羅茨泵兩臺泵加到一起抽也只能抽到l0Pa，150羅茨泵的作用顯現不出來，沒發現有外漏，卻具備了機械泵油很快乳化，真空室內鐵基件明顯銹蝕的條件，解體設備清理干凈后用通冷卻水的方法查出是爐蓋漏水。剩下就是查出漏點。先把內壁清理干凈，再通冷卻水，看有無濕潤點，濕潤處就是漏點。
問：故障點找出后怎么處理?
答：找出故障點就可以因地制宜地進行處理了，簡單的辦法是換件，小到膠圈、螺栓，大到閥門、真空泵，只要手頭上有的都可以換；對于需要焊接的部位應按要求來進行，焊接后還需確認達到了要求。
問：維修應注意哪些環節?
答：維修應注意幾個環節、拆卸、清潔、檢驗、裝配。真空設備無論大小都屬于精密機械設備，這點很重要。拆卸應遵循輕拿輕放的原則，不能蠻干，一定不能用大錘去敲；清洗零件時要干凈、徹底，以便于發現問題和查出隱患；真空泵類產品與一般機械產品有較大區別，一般機械產品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易傷手，應多加小心，切記。
檢驗是個細致活，每個細節都不要落掉，更不能存在僥幸心理。有一臺設備，用戶存放4年了，做完了常規的清理工作按部就班地連接好管路開始抽真空，怎么也達不到出廠標準，什么都查了，就是一根供氣的真空膠管沒查，當時就認為真空膠管不會漏。結果恰恰相反，問題就出在這根真空膠管上。
再有，不論是用汽油還是其他溶劑清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶劑徹底揮發了才能進行裝配，真空泵油若與其他的油或溶劑，或水混合會破壞其性能，影響真空泵的性能指標。膠圈要擦干凈，仔細檢查有無缺陷，如裂紋等。還有尺寸是否正確，特別注意相近尺寸直徑的，像 3.1 mm 與3 mm；5.7 mm與6 mm的尺寸不對將影響密封。凡是有加熱位置的膠圈，每次拆卸清洗時必須換，比如油增壓泵各個接口。裝配時泵件同樣需要輕拿輕放；緊螺釘時用力要均勻，要從對角緊起。動密封多用軸封，上軸封時要細心，先檢查軸封本身有無缺陷，密封面是否平整，軸封簧彈性如何。在軸封內側可薄薄地涂上一層真空脂，上軸封時用力要均勻，骨架軸封不要壓偏了，偏了就會漏油、漏氣；軸封簧別擠出去，沒了軸封簧軸封就失效了，注意軸封與軸的同心度。有的泵是用對輪連接的，對輪的同軸度要求很嚴格，裝配時要從軸的四面去量，保證平行一致。
羅茨泵的對齒輪調整的關鍵是兩個8型齒輪不相碰。擴散泵的內壁和噴射塔清洗干凈后z*好用電力紡擦干。由于國內生產的擴散泵主要靠電爐絲的長短來控制泵油的溫度，擴散泵油的注入量就需要考慮當地電網的實際情況來酌量增減，若K．400泵注油在分流槽上10 mm的話，K150泵就可以在分流槽上6 mm，泵的口徑大小不一樣注油量有差別；電網的電壓低注油可以減少2mm，只要是干凈的鋼直尺或鐵絲都可以用來測量。由于制造和使用上的差別，擴散泵注油量的多少只能供大家參考。維修切記不可操之過急，故障沒搞清楚就想當然地開始動手拆卸，會舊病未除又添新病。把本來簡單的問題搞復雜化了。
問：應急條件下設備出故障怎樣處理?
答：常規的維修可以按部就班地去做，應急條件下設備出了故障，生產任務又急不可待，這種情況下，只要判斷故障準確，采用手頭上現有的材料，真空封泥、真空封蠟、704硅膠、真空腔板等一切可用的材料。只要與在制品不發生沖突，就可以進行修理。有一臺外地產的新鍍鏡機，正常工作月余，停機一天真空室門自己打開了，用戶急于恢復生產，自行拆檢忙了兩天，沒有解決問題。經我們檢查發現是真空室門有缺陷，用真空封泥堵住缺陷，使用戶盡快地恢復了生產。有一臺中頻爐，低真空時工作正常，在6Pa時就放電，經檢查發現是l尖端放電造成的，根本解決問題的辦法是大修，需時一周。根據用戶急于使用的要求，用704硅膠封閉了l放電的尖端，第二天就能正常生產。有一臺真空設備，供熱密封采用刀口法蘭，用戶不慎使無氧銅墊出現了“雙眼皮”，造成漏氣。該密封處的溫度低于l100℃，用戶急用，用焊錫將無氧銅墊焊平，再用乙醇將松香清洗干凈，解決了該處的密封問題。應急的原則是在不損壞設備和不影響在制品的條件下做到設備能正常生產。
問：主機與附件有什么關系?
答：還有一個重要問題是與主機配套的相關部件，有一臺離子滲氮爐，工作一段時間后出了問題，設備沒動，操作工藝沒變，就是工件不能進行離子滲氮。用戶和廠家查不出問題的所在，感到困惑。經過試驗和查找，確定是配套的供氣管路出了問題。用戶用的是氧氣管，用戶認為氧氣管耐正壓沒問題，耐負壓也一定沒問題；其實不然。換管后問題解決了。我們建議國內生產企業在生產主機的同時為用戶提供相應的配套裝置。有時配套裝置出的問題會影響主機。
問：真空設備應用領域廣泛。如何處理各種復雜問題?
答：現在真空設備的應用領域愈來愈廣，很多是與電、電磁、水、氣源和制冷有關的。不論是真空爐還是鍍膜設備都會碰到電氣部分出問題。相當多的情況下不是電源部分的問題，這一點讓人不好理解。其中有的是機械裝配中不細心造成的，有的是絕緣材料或結構上的問題。這時，不要急于下結論，不要急于拆卸設備，應認真分析故障現象或請教專門從事此項工作的人員。避免誤拆誤卸造成不必要的損失。有一臺專用設備，工作時發生放電現象，經過對工作記錄的分析和與操作者的交流，得出不同的結論，有人認為電源有問題，有人認為是裝配過程的問題。z*后，對設備進行了拆卸，重新裝配后放電現象消除了。有一臺磁控濺射鍍膜機，下半部的產品明顯好于上半部的，靶的外表看不出什么問題來，拿高斯計一試，上半部磁環退磁了。經檢查原來是水路出了問題。調整了水路，換了磁環，產品上下一致的問題得到了解決。
