真空系統(tǒng)要滿足真空生產(chǎn)要求，除了性能達(dá)標(biāo)的真空泵設(shè)備以及良好的管路流導(dǎo)，還需要保證系統(tǒng)結(jié)構(gòu)中材料的可靠密封、放氣性能等等。因此在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)建設(shè)過(guò)程中，小編提醒大家要注意以下十個(gè)方面：
一、結(jié)構(gòu)材料選擇標(biāo)準(zhǔn)的無(wú)縫鋼管和板材，減少焊接結(jié)構(gòu)，提高真空部件的氣密性。對(duì)于需要進(jìn)行焊接結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)元件，應(yīng)針對(duì)性的選擇焊接性能好的鋼材。
二、合理設(shè)計(jì)焊接結(jié)構(gòu)，提高焊接工藝質(zhì)量。焊接是真空系統(tǒng)建設(shè)過(guò)程中的一道重要工序，焊接結(jié)構(gòu)要避免處于真空中的焊縫有污物積存的空隙。如果出現(xiàn)污物積存或空隙，不僅會(huì)給清洗造成困難，還會(huì)成為真空系統(tǒng)中緩慢放氣的氣源。如果焊縫出現(xiàn)死空間，就會(huì)成為難以找到漏隙所在。
三、避免出現(xiàn)隔離孔穴（氣袋），或?yàn)槠溟_設(shè)出氣孔，便于快速抽真空。氣袋會(huì)成為緩慢放氣的源泉，增長(zhǎng)了抽氣時(shí)間。
四、z*好能對(duì)真空系統(tǒng)內(nèi)的構(gòu)件及內(nèi)壁進(jìn)行電鍍拋光、氧化處理等，減少表面放氣。不同的真空環(huán)境對(duì)內(nèi)壁粗糙度的要求也不相同，原則上要求處于真空系統(tǒng)內(nèi)的構(gòu)件和殼體內(nèi)壁表面是越光潔越好（一般高真空的內(nèi)壁粗糙度Ra為6.3～3.2；中真空的內(nèi)壁粗糙度Ra為12.5左右；超高真空的內(nèi)壁要求拋光，達(dá)到非常光潔的表面。另外需要注意，生銹的金屬表面對(duì)抽真空十分不利。
五、法蘭連接先焊接后加工，保證尺寸、粗糙度要求以及氣密性。焊接時(shí)容易引起法蘭變形，因此目前國(guó)內(nèi)都采用焊接后再對(duì)法蘭加工，這樣既可達(dá)到尺寸和粗糙度的要求，又能保證兩個(gè)法蘭連接時(shí)密封可靠。
六、高溫度下工作的真空橡膠密封圈，可采用水冷結(jié)構(gòu)加以保護(hù)，防止部件部件損壞或壽命變短。
七、真空系統(tǒng)元件及真空室殼體器壁需滿足一定厚度，以滿足其有足夠的強(qiáng)度保證不會(huì)在內(nèi)力外力作用下發(fā)生變形（滿足內(nèi)外部打壓，3個(gè)大氣壓下不變形）。實(shí)際應(yīng)用中，真空容器一般采用圓形結(jié)構(gòu)較好；而端蓋采用凸形結(jié)構(gòu)為好。
八、保證由外部進(jìn)入真空室內(nèi)的轉(zhuǎn)動(dòng)件或移動(dòng)件的動(dòng)密封性能。除了選擇好的密封結(jié)構(gòu)外，其中的軸或桿一定要滿足粗糙度要求，防止軸和桿上無(wú)軸向劃痕，這種劃痕會(huì)引起氣體泄漏，降低系統(tǒng)的真空度，且不易被發(fā)現(xiàn)。
九、真空系統(tǒng)上測(cè)量規(guī)管座位置的安排應(yīng)遵循如下原則：a.不能將測(cè)量規(guī)管放在密封面較多的地方。因?yàn)槊恳粋€(gè)密封面都不可能保證絕對(duì)不漏氣，密封面集中之處，必然是容易漏氣的地方，測(cè)量值可能不準(zhǔn)。b.規(guī)管內(nèi)壁各處，必須保證真空衛(wèi)生，否則會(huì)造成測(cè)量不準(zhǔn)。c.規(guī)管應(yīng)盡量接在靠近被測(cè)量的地方，以減少測(cè)量誤差。
十、真空室殼體上的水套結(jié)構(gòu)，要保證水流暢通無(wú)阻，更不能出現(xiàn)死水，造成局部過(guò)熱。因此進(jìn)出水管位置要一下一上，且設(shè)置流水隔層，使水沿一定的路線流動(dòng)。
真空系統(tǒng)中的螺桿真空泵
