真空泵廣泛應用于醫(yī)療醫(yī)藥、半導體、機械化工、低溫設備、電子、冶金、石油礦山等領域，其相關技術(shù)也得到了飛躍發(fā)展。在真空泵應用過程中，因生產(chǎn)工藝的不同真空泵會受到不同程度的腐蝕，若防護措施不當，常會因真空泵腐蝕而造成停產(chǎn)。因此，真空泵防腐是目前生產(chǎn)中延長真空泵使用壽命迫切需要解決的實際問題。
2007年開始，q*真空泵相關專利申請數(shù)量開始加快增長，中國、日本是q*真空泵防腐相關專利的主要受理國家，但是國內(nèi)專利權(quán)未形成明顯的技術(shù)競爭優(yōu)勢，且專利保護區(qū)域較局限，在國外申請了保護的卻寥寥無幾。
目前國內(nèi)真空泵防腐技術(shù)主要針對的是羅茨真空泵、水環(huán)真空泵、蒸汽真空泵、液環(huán)真空泵、隔膜真空泵、渦輪分子泵等，采用的防腐技術(shù)主要包括三種：
一、通過在真空泵表面涂覆一層防腐蝕涂層，如三氟氯乙烯防腐層、特氟龍涂層、耐腐蝕的氧化層或氮化層、耐腐蝕耐候油漆等；
二、防腐材料的改進，常用的涂層材料有不銹鋼、錫青銅、硬質(zhì)合金等金屬材料，天然橡膠、磷片、人工合成橡膠、陶瓷、塑料等非金屬材料，精密陶瓷、有機高分子或者耐溫耐腐耐磨高分子材料等新型材料，其中高分子材料有氟塑料、聚乙烯、聚氯乙烯等；
三、對泵的結(jié)構(gòu)改造，如泵體上部安裝氣室，安裝上置式耐腐蝕氣水分離器。
干式螺桿真空泵雖然國內(nèi)企業(yè)投入較少，但因其可應用于純凈的真空工藝過程，真空度高，適應惡劣工況，可抽取凝性、含顆粒物氣體，且易做防腐處理，浙江珂勒曦動力設備有限公司在螺桿真空泵領域傾入了大量人力物力，其核心螺桿轉(zhuǎn)子技術(shù)不僅讓單級真空泵突破了0.1帕極限真空，防腐技術(shù)上多層鍍鎳和納米技術(shù)，可以讓真空泵輕松應對鹽酸等高腐蝕介質(zhì)環(huán)境，走在了世界領先行列。
