真空系統中，除塵器是指在真空管路中配置的過濾器以及在真空管路中能夠使固體顆粒物、粉塵沉降下來的裝置。
除塵器的作用是清除真空系統中氣流內的固體粉塵顆粒，用來保護真空泵不被粉塵研磨和損壞，以及保護真空閥門不被阻塞，避免閥板關閉不嚴，保護真空測量規管不被堵塞和污染，保證真空系統不因粉塵顆粒而工作失常。
根據粉塵從氣體中分離出來的方法，除塵器可以分為慣性除塵器、旋風除塵器、過濾除塵器、濕式除塵器、電除塵器5大類。
1、慣性除塵器。慣性除塵器主要用于除掉20μm以上的粗粒粉塵，屬于初級凈化設備。它的原理是利用粉塵與氣體在運動中的慣性力不同，在含塵氣流急轉向時將粉塵分離。慣性越大，轉向越急，除塵效果越好。
2、旋風除塵器。旋風除塵器的原理是含塵氣體沿切向進入除塵器外殼與排氣管之間，在除塵器形成內外兩層旋流，粉塵于外旋流中在離心力的作用下向下移向殼壁，z*終沉積于集塵器內；而凈化后的氣體形成內旋流向上經排氣管流出。氣體切向速度越大，除塵效率越高。
典型除塵器示意圖
3、過濾除塵器。過濾除塵器是利用多孔過濾物使含塵氣體在慣性碰撞，攔截、擴散、靜電力和重力等作用下，其中粉塵沉積在多孔表面或容納于其中。根據結構的不同又可分為金屬網過濾器、金屬環過濾器、濾布過濾器及袋式過濾器等。
4、濕式除塵器。濕式除塵器原理與過濾原理較為類似，是以真空泵油或其他低蒸氣壓油為工質，造成油滴或油膜，使含塵氣流通過它們時粉塵發生慣性碰撞，攔截、擴散、重力、靜電吸引等效應而被捕集下來。
5、電除塵器。電除塵器主要運用高壓電場中的正負帶電粒子的定向運動捕集并帶走粉塵顆粒。它主要分為管式和板式電除塵器，具有除塵效率高（效率普遍99%以上，粉塵0.1μm以上）、壓降低、能耗省（約為[1-8]*10-2kw·h/m3）、處理量大、可處理高溫氣體（350～500攝氏度） 。
