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真空系統應用，尤其是中高真空應用中，真空泵廠家都會采用低蒸氣壓的材料來搭建系統，而要避免使用高蒸氣壓的材料。這是為什么呢？

通過三相圖可以直觀了解物質在不同溫度、壓力狀態的形態變化

s*先要了解的是，在一定溫度的封閉真空條件下，不僅僅是液體會蒸發，固體的金屬、橡膠等材料等也會出現蒸發或升華現象，壓力越低、溫度越高，這種現象就越明顯劇烈。在未達到當時物質對應的飽和蒸氣壓之前，脫離物質表面的分子大于返回液體或固體表面的分子，就會不斷地氣化，并在物體表面形成蒸氣壓力。這種氣化直到脫離的分子與返回的分子達到平衡時，才會停止，也就是達到了該物質當時的飽和蒸氣壓的時候。簡單通俗地總結，就是蒸氣壓越高，這種氣化就越多；反之，蒸氣壓低，這種氣化就少。

因此在真空技術中，材料的蒸氣壓力和蒸發或升華速率都是真空泵廠家重視的參數，高蒸氣壓，會讓材料成為影響高真空系統極限真空度的氣源。所以在真空應用尤其是高真空應用中，真空泵廠家會避免使用蒸氣壓很高的材料，而采用飽和蒸氣壓力足夠低的，減少材料的氣化。否則，會因為材料本身的蒸氣壓、放氣特性而使真空系統達不到所要求的工作真空度，或降低真空度。蒸氣壓越高意味著對高真空的真空度影響越大。