低溫真空泵是氣體捕集泵的一種，也是獲得清潔真空的一種真空泵設備。它有著抽氣極限壓力低、抽氣壓力范圍寬等特點，應用廣泛。現在就和小編一起了解下低溫真空泵的一些簡單情況。
低溫真空泵泵的抽氣原理就是使某一固體表面的溫度低于被抽主要氣體的飽和蒸氣壓溫度，這樣氣體與固體表面接觸后會發生凝結而被抽除。低溫抽氣主要通過3種方式實現：低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。
低溫冷凝。氣體分子冷凝在冷凝板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時，冷板溫度必須低于25K；抽氫氣時，冷凝板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達10mm左右。
低溫吸附。當低溫面上粘帖多孔固體吸附時，某一帶吸附劑的固體表面溫度足夠低（低于氣體成分的吸附平衡氣壓溫度），即可捕獲被抽空間的氣體。如在20K時氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用20K的活性炭吸氫氣時吸附平衡壓力則低于10-8Pa。
低溫捕集。
低溫捕集細節機理較為復雜，其過程主要包括兩個方面：一是裹挾性的共吸附，即當可凝結氣體流向低溫表面凝結時把非可凝結氣體也裹挾到低溫表面上，共同被吸附；或者是非可凝性氣體還未來得及離開低溫表面，又有可凝性氣體凝結在它上面，從而將其覆蓋在可凝性氣體下面實現捕獲；另一個過程則是可凝性氣體在低溫表面形成一種多孔性、疏松結晶結構的固態沉積層，類似于吸附劑，可吸附一定量的不可凝性氣體，起到一定的抽氣作用。
根據低溫真空泵泵的工作形式，其種類也分為3種：
1、低溫冷凝泵，利用液氦冷卻固體表面，使空氣中除氫氣、氦氣外的大部分氣體冷凝，達到抽真空的目的。
2、低溫吸附泵，在低溫表面上粘帖固體吸附劑，當氣體入射到吸附劑上而被捕集；低溫吸附往往與低溫冷凝結合組成可以抽除各種氣體的冷凝吸附泵結構。
3、制冷機低溫泵。制冷機低溫泵則是將低溫面及擋板組裝在封閉的循環制冷機系統中與制冷機組組合成一體的低溫泵，同時利用了低溫表面的低溫冷凝、低溫吸附以及低溫捕集等物理現象來獲得和保持真空。
低溫真空泵作為一種無油高真空環境獲得設備，廣泛應用于外層宇宙空間模擬、高能物理及等離子體研究、微電子學、薄膜制備、表面分析儀器等領域中。
