真空泵為滿足各種性能需要，在真空泵殼體材質(zhì)選擇上也會有諸多要求，尤其是一些工作介質(zhì)環(huán)境較為惡劣的場合。那具體的殼體材質(zhì)又有哪些，都有些什么要求呢？
真空泵材料種類眾多，如金屬合金、陶瓷、橡膠塑料、玻璃石英、炭纖維等等。而真空泵殼體材質(zhì)主要是兩大類：金屬和玻璃。
金屬作為真空殼體材質(zhì)主要包括鐵、銅、鋁為基礎(chǔ)的金屬及各種合金，如低碳鋼、不銹鋼、無氧銅、紫銅、鋁以及覆鋁、銅、鎳的鋼或鐵材。它們擁有良好的機(jī)械強(qiáng)度與可加工性，各種金屬材質(zhì)針對不同的真空應(yīng)用特點(diǎn)，有各異的性能與出氣率表現(xiàn)。具體可查詢各類金屬合金的物理機(jī)械性能表。
而玻璃則主要用于一些玻璃真空系統(tǒng)（如玻璃擴(kuò)散泵、閥）、觀察窗以及一些規(guī)管外殼、高壓電極絕緣體等，具有透明、價格低、易加工、絕緣等優(yōu)點(diǎn)，缺點(diǎn)就是強(qiáng)度低易碎。玻璃的種類也較多，根據(jù)軟化溫度與膨脹系數(shù)的不同，有軟玻璃、硬玻璃以及石英玻璃的區(qū)分，性能各異。
無論是金屬或是玻璃，真空泵殼體材質(zhì)需要具備：一定的機(jī)械強(qiáng)度與剛度，能保證在常溫與烘烤溫度下承受大氣壓力，并且不發(fā)生變形；良好的氣密性，不存在多孔結(jié)構(gòu)、裂縫及其他滲漏等缺陷；較低的出氣速率與滲透速率；工作溫度與烘烤溫度下的飽和蒸氣壓低；化學(xué)穩(wěn)定性好，不易氧化和腐蝕，也不會與系統(tǒng)中的工作介質(zhì)發(fā)生法應(yīng)；溫度穩(wěn)定性好，在一定溫度范圍內(nèi)能保持其真空性能與力學(xué)性能；易加工，有較好的焊接性能，良好的經(jīng)濟(jì)性。
